[实用新型]一种测液硅压力传感器

权利要求书

1.一种测液硅压力传感器，其特征在于：主要由变送器与接插件组成，变送器通过导线与接插件连接，所述变送器内部腔体中设有传感器组件与补偿电路组件，所述补偿电路组件设置于所述传感器组件的外侧，所述传感器组件包括传感器裸片、邦定线、传感器支架、PCB板，所述传感器裸片通过高性能粘接胶固定于所述PCB板的表面，所述传感器裸片的内部设有采用硅与玻璃制成的引压腔或背压腔，所述邦定线的两端分别与所述传感器裸片及所述PCB板相连接，所述PCB板的表面设有传感器引出线，所述传感器引线的另一端与所述补偿电路组件相连接，所述PCB板的下侧表面还设有密封圈与缓冲塞，所述缓冲塞设置于所述密封圈内部，所述传感器支架设置于所述传感器裸片的外侧，所述传感器支架通过固定件将所述PCB板与所述密封圈设置于所述变送器壳体内部的腔体中。

2.如权利要求1所述的一种测液硅压力传感器，其特征在于，所述PCB板的上侧表面设有多个焊盘，内部设有贯通的引压孔，所述引压孔的位置与所述传感器引压腔或背压腔的位置相对应。

3.如权利要求1所述的一种测液硅压力传感器，其特征在于，所述传感器裸片与PCB板之间采用的是高性能粘接胶粘接或玻璃粉烧结而成。

4.如权利要求1所述的一种测液硅压力传感器，其特征在于，所述变送器壳体由压力接头与外罩构成，在所述外壳底座内部还设有缓冲装置。