[实用新型]基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台

说明书

技术领域

本发明创造属于微动平台技术，主要涉及一种基于形状记忆材料驱动的精密微动平台。

背景技术

精密位移技术在近代尖端工业生产和科学研究领域占有极其重要的地位，广泛应用于微量进给、光纤对接和精密、超精密加工等要求精细操作的领域。精密位移依靠驱动器驱动精密微动平台运动来实现，微动平台的微动驱动多采用压电驱动器，压电驱动器是近几年发展起来的新型微位移器件，它以体积小、驱动力大、分辨率高、易于控制和输出位移小等优点作为驱动元件在精密机械当中得到了广泛的应用。但是，目前微动平台的粗动驱动多采用传统的机械传动装置，结构复杂，控制过程繁琐，且定位精度低。

发明内容

本发明创造的目的就是针对上述现有精密微动平台在粗动和微动驱动技术存在的问题，设计提供一种基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台，通过采用压电驱动器为微动驱动器，采用形状记忆材料驱动器为粗动驱动器的结构，达到兼顾大行程和微位移驱动的目的。

本发明创造的目的是这样实现的：载物台通过载物台安装螺栓固装在Y向微动平台上端面上，所述的Y向微动平台通过四个Y向微动柔性铰链机构安装在X向微动平台的内部；Y向压电微动驱动器安装在X向微动平台的驱动槽内，且其两端分别与Y向微动平台和X向微动平台接触配合；X向微动平台通过四个X向微动柔性铰链机构安装在XY二维微动平台底座内部，X向压电微动驱动器安装在XY二维微动平台底座的驱动槽内，且其两端分别与X向微动平台和XY二维微动平台底座接触配合；XY二维微动平台底座通过XY二维微动平台安装螺栓固装在X向粗动平台上端面上；X向粗动平台与X向粗动平台底座通过X向粗动滑道相配合；X向形状记忆材料粗动驱动器的两端部通过连接件分别安装在X向粗动平台和X向粗动平台底座的槽内，X向粗动平台底座通过X向粗动平台底座安装螺栓固装在Y向粗动平台上端面上，Y向粗动平台与Y向粗动平台底座通过Y向粗动滑道相配合；Y向形状记忆材料粗驱动器的两端通过连接件分别安装在Y向粗动平台和Y向粗动平台底座的槽内；Y向粗动平台底座安装螺栓将Y向粗动平台底座固装在底座上端面上，至此构成基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台。

本发明创造利用形状记忆材料具有的形状记忆特性，当形状记忆材料被加热到它的转变温度时就会展现出形状记忆效应，输出位移大。若形状记忆材料的二端被约束，在温度激励下会产生很大的回复力，可用于驱动物体运动，将形状记忆材料应用于微动平台的粗动驱动器设计，可简化驱动系统结构，降低控制过程的复杂性，具有结构简单紧凑、易于控制、定位精度高的特点，在工程中具有更广泛的应用前景。

附图说明

图1是基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台总体安装结构示意图；

图2是压电驱动器微动平台装配结构示意图；

图3是形状记忆材料粗动驱动器粗动平台装配结构示意图。

图中件号说明：

1、底座、2、Y向粗动平台底座、3、Y向粗动平台、4、X向形状记忆材料粗动驱动器、5、XY二维微动平台安装螺栓、6、X向压电微动驱动器、7、X向微动平台、8、Y向粗动滑道、9、Y向微动柔性铰链机构、10、载物台安装螺栓、11、Y向微动平台、12、XY二维微动平台底座、13、X向粗动滑道、14、X向粗动平台底座安装螺栓、15、Y向粗动平台底座安装螺栓、16、X向粗动平台底座、17、X向粗动平台、18、Y向形状记忆材料粗动驱动器、19、Y向压电微动驱动器、20、X向微动柔性铰链机构、21、载物台。

具体实施方式