[实用新型]低熔点金属气动化学预处理提纯装置有效

专利信息
申请号: 201220526289.7 申请日: 2012-10-15
公开(公告)号: CN202925074U 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 康云飞;乔文;钟晓露 申请(专利权)人: 南京隆润半导体材料有限公司
主分类号: C22B9/05 分类号: C22B9/05;C22B43/00;C22B58/00
代理公司: 北京嘉予铭知识产权代理有限责任公司 11407 代理人: 彭晓云
地址: 211511 江苏省南京市化学工业园新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 熔点 金属 气动 化学 预处理 提纯 装置
【权利要求书】:

1.一种低熔点金属气动化学预处理提纯装置,包括预处理瓶(4),其特征是:所述预处理瓶(4)设于保温槽(2)中,预处理瓶进气管(7)端设有空气过滤器(1),预处理瓶出气管(10)端设有水喷射真空泵(3)。

2.根据权利要求1所述的低熔点金属气动化学预处理提纯装置,其特征是:所述空气过滤器(1)为可拆卸密闭容器,所述空气过滤器(1)内部设有支撑骨架(5),支撑骨架(5)上设有空气高效过滤网(6),所述空气过滤器(1)上设有空气过滤器进气管和预处理瓶进气管(7),所述空气过滤器进气管设于空气高效过滤网(6)的一侧,所述预处理瓶进气管(7)一端设于空气高效过滤网(6)另一侧,另一端设于预处理瓶(4)底部。

3.根据权利要求1所述的低熔点金属气动化学预处理提纯装置,其特征是:所述预处理瓶(4)上设有广口孔,所述广口孔上设有密封塞子,所述密封塞子上设有预处理瓶进气管(7)和预处理瓶出气管(10),所述预处理瓶进气管(7)在预处理瓶底部端口设有多孔喷头(9),所述预处理瓶出气管(10)设于预处理瓶(4)上部。

4.根据权利要求1所述的低熔点金属气动化学预处理提纯装置,其特征是:所述水喷射真空泵(3)由循环水箱和喷头构成。

5.根据权利要求1所述的低熔点金属气动化学预处理提纯装置,其特征是:所述水喷射真空泵(3)所有材料均为氟衬耐腐蚀材料。

6.根据权利要求1所述的低熔点金属气动化学预处理提纯装置,其特征是:所述预处理瓶(4)材质为高纯石英玻璃。

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