[实用新型]气泡释放阀有效
申请号: | 201220531752.7 | 申请日: | 2012-10-17 |
公开(公告)号: | CN202892987U | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 吴良辉 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B01D19/02 | 分类号: | B01D19/02 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气泡 释放 | ||
1.一种气泡释放阀,其特征在于:该气泡释放阀包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置;所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧,另一端与气动阀连接用于控制气泡释放管道通断的滑块。
2.根据权利要求1所述的气泡释放阀,其特征在于:所述滑块与气动阀通过固定于阀壳内的传动装置连接。
3.根据权利要求2所述的气泡释放阀,其特征在于:所述传动装置包括至少一个传动轮以及与传动轮配合的传动带,该传动带一端连接滑块,另一端连接气动阀。
4.根据权利要求1所述的气泡释放阀,其特征在于:所述气动阀包括控制所述液体输送管道通断的阀芯以及阀控制件,所述阀控制件包括活塞腔、位于所述活塞腔内的活塞、一端与活塞腔的顶部接触、另一端与活塞连接的第二弹簧以及固定在活塞上的连接杆;所述连接杆的一端与所述阀芯连接,另一端穿通所述活塞腔的顶部。
5.根据权利要求4所述的气泡释放阀,其特征在于:所述活塞腔的底部设有通气装置,所述通气装置外接气源。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的气泡释放阀,其特征在于:所述滑块上设有通孔,在所述阀芯位于所述液体输送管道内阻断液体输送时,所述通孔与所述气泡释放管道对齐导通。
7.根据权利要求6所述的气泡释放阀,其特征在于:所述通孔与所述气泡释放管道的横截面为圆形,所述通孔的直径小于或等于所述气泡释放管道的直径。
8.根据权利要求7所述的气泡释放阀,其特征在于:所述气泡释放阀进一步包括与所述连接杆配合的检测装置,该检测装置包括光传感器以及标识装置,所述光传感器固定在所述阀壳的顶部,所述标识装置与所述光传感器相连;所述光传感器包括光发射端及光接收端,所述光发射端与所述光接收端之间设有一容置连接杆的空隙。
9.根据权利要求8所述的气泡释放阀,其特征在于:所述标识装置包括第一灯泡及第二灯泡,所述第一灯泡与所述光发射端相连,所述第二灯泡与所述光接收端相连。
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