[实用新型]一种集成倾角可控MEMS微镜的器件

权利要求书

1.一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，包括MEMS微镜（1）、基底（3）、电引线（31），所述电引线（31）设置于所述基底（3）上，其特征在于：所述MEMS微镜（1）与所述基底（3）之间连接有驱动臂（2），所述MEMS微镜（1）底部无支撑地悬空设置。 

2.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述MEMS微镜（1）包括边框（11）、镜体（13）和镜体驱动臂（12），所述镜体驱动臂（12）连接于边框（11）与镜体（13）之间。 

3.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述驱动臂（2）的驱动方式为电热驱动、压电驱动或热膨胀聚合物。 

4.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述驱动臂（2）包括至少两段双层结构，所述双层结构的第一段（26）与第二段（27）包括第一材料层（24）和第二材料层（25），所述第一段（26）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的上方，所述第二段（27）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的下方；所述第一段（26）与第二段（27）依次连接设置。 

5.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述驱动臂（2）包括至少两段多层结构，所述多层结构的第一段（26）与第二段（27）包括第一材料层（24）和第二材料层（25），所述第一段（26）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的上方，所述第二段（27）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的下方；所述第一段（26）与所述第二段（27）还包括除第一材料层（24）与第二材料层（25）之外的一层或多层材料结构，所述第一段（26）与第二段（27）依次连接设置。 

6.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在 于：所述驱动臂（2）至少包括上层材料层（21）和下层材料层（22），所述上层材料层（21）与下层材料层（22）的材料热膨胀系数不同。 

7.根据权利要求6所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述上层材料层（21）的上表面、下层材料层（22）的下表面或上层材料层（21）和下层材料层（22）之间设置有一层或多层材料层。 

8.根据权利要求4至6任一项所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述驱动臂（2）中至少有一层是导体层。 

9.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述基底（3）上设有焊盘，所述电引线（31）与所述基底（3）上的焊盘导电连接，所述电引线（31）的另一端与驱动臂（2）的导体电连接。 

10.根据权利要求1所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述MEMS微镜的镜体（13）自身倾斜角度固定，或者镜体（13）自身倾斜角通过其周围的镜体驱动臂（12）可调。 

11.根据权利要求10所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述镜体驱动臂（12）包括至少两段双层结构，所述双层结构的第一段（26）与第二段（27）包括第一材料层（24）和第二材料层（25），所述第一段（26）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的上方，所述第二段（27）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的下方；所述第一段（26）与第二段（27）依次连接设置。 

12.根据权利要求10所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述镜体驱动臂（12）包括至少两段多层结构，所述多层结构的第一段（26）与第二段（27）包括第一材料层（24）和第二材料层（25），所述第一段（26）的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的上方，所述第二段（27） 的第一材料层（24）设置在第二材料层（25）的下方；所述第一段（26）与所述第二段（27）还包括除第一材料层（24）与第二材料层（25）之外的一层或多层材料结构，所述第一段（26）与第二段（27）依次连接设置。 

13.根据权利要求10所述的一种集成倾角可控MEMS微镜的器件，其特征在于：所述镜体驱动臂（12）至少包括上层材料层（21）和下层材料层（22），所述上层材料层（21）与下层材料层（22）的材料热膨胀系数不同。