[实用新型]一种用于测量石英管长度的治具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于测量石英管长度的治具，用于测量PECVD设备上使用的石英管的长度，属于测量工具领域。

背景技术

目前，在晶体硅太阳能电池中，氮化硅薄膜作为光学减反射膜，同时起到表面钝化和体内钝化的作用，从而提高太阳能电池的转换效率。因此，对于制备高质量的氮化硅薄膜越来越受到人们的重视。而制备氮化硅薄膜目前行业内普遍采用的是等离子增强化学气相沉积(PECVD)，可以采用现有的设备，如德国ROTH&RAU公司的PECVD设备。

在制备氮化硅薄膜过程中，PECVD设备上会用到一种石英管，它使腔体里的真空与外界大气隔绝，同时保证了易爆气体不会接触空气发生爆炸，使得腔体在真空状态下镀膜，提高了制备氮化硅膜的质量。因此，这种石英管的质量倍受重视。由于PECVD设备上的石英管是有使用寿命的，它需要定期更换新的石英管。针对某一种固定的PECVD设备而言，其使用的石英管的长度是固定的，且要求其长度精确到±0.5 mm以内。然而，由于各个生产厂家供应的石英管产品长短不一，且大致误差在±1 mm左右，因而无法直接使用，直接影响到了PECVD设备的正常使用。

针对上述问题，现有的方法一般是采用米尺来测量长度（由于石英管的长度在1米以上，因而无法使用常规的游标卡尺来测量），而采用米尺进行测量时，由于测量时米尺与石英管的长度方向不容易平行，因而精度较差，测量误差极大，无法满足石英管长度的精度要求。

虽然可以采用精度较好的二次元和三次元测量仪器解决上述问题，但这两种测量工具比较昂贵，而且操作很不方便，工作效率也比较低，无法推广应用。

因此，开发一种操作方便、精度高、价格低廉的专用于测量石英管长度的治具，以解决上述问题，具有积极的现实意义。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于测量石英管长度的治具。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于测量石英管长度的治具，包括一柱状本体，柱状本体内设有一凹槽，凹槽的两端形成挡板，

所述凹槽的主轴与柱状本体的主轴相平行；所述挡板与凹槽主轴相垂直；

所述凹槽的长度比待测石英管的长度长0.5~2 mm。

上文中，所述治具可以采用高级优质碳钢S45C制备，厚度在10~30 mm，以保证其刚性。

上述技术方案中，所述柱状本体为棱柱，其横截面为矩形。

优选的，所述凹槽的一个侧面镂空，构成横截面呈L形的凹槽。

上述技术方案中，所述凹槽的两端还设有支撑座，支撑座的顶部设有与待测石英管配合的弧形卡槽；所述支撑座与凹槽主轴相垂直。

支撑座的作用是用来支撑待测石英管的两端，在实际使用过程中，需要在石英管上缠缚高温胶带，只有在两端空出，因而为了保证石英管能平行地放置于凹槽内，设置了支撑座，通过使石英管的两端放置于支撑座上，实现石英管的平行放置。

优选的技术方案，所述凹槽的宽度是待测石英管的宽度的1~2倍，凹槽的高度是待测石英管的高度的1~3倍。

上述技术方案中，还包括塞尺。

本实用新型的治具在测量之前可以用精密仪器测量进行多次校准，以达到设计要求，然后将支撑座放在凹槽的两端，与凹槽的两个相对面紧贴，接着将待测石英管放在两个支撑座的圆弧卡槽上，石英管的一端紧贴在一端挡板上，另一端与另一端挡板之间有空隙，然后用塞尺进行测量，这样，用凹槽长度与塞尺测量长度相减，就可以准确得到石英管长度，达到检验的标准。

由于上述技术方案运用，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型设计得到了一种新的专用于测量石英管长度的治具，其可以快速精确地测量石英管的长度，能满足待测石英管长度的精度要求，且其成本低廉，操作方便，能达到来料迅速检验，提高工作效率，具有积极的现实意义。

2、本实用新型的结构简单，便于制备，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一中柱状本体的结构示意图；

图3是本实用新型实施例一中支撑座的结构示意图；

图4是本实用新型实施例一的使用示意图；

图5是图4的A部放大图。

其中：1、柱状本体；2、凹槽；3、挡板；4、支撑座；5、弧形卡槽；6、塞尺；7、待测石英管。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一