[实用新型]夹具和携动件

说明书

本实用新型涉及用于平的衬底的运输装置的领域。本实用新型尤其涉及夹具和其在轴上的固定。 

为了改变平的衬底例如尤其是硅晶片，已知湿化学的处理装置。为了防止通常非常薄的衬底在其运输穿过填充有处理液的处理池期间浮起，使用所谓的夹具，如在基于PCT申请PCT/EP03/03738的中国专利ZL03813930.8中公开的夹具。那里示出的夹具被推到轴上。借助销实现力传递，所述销锚固在轴中并且接合到位于夹具的壳面的中心处的孔中。 

然而这类力传递具有一系列缺点。尤其可能导致夹具的倾斜，并且销仅能经受限定的面挤压，由此也限制了力传递。 

因此本实用新型的任务在于，提供一种夹具，该夹具避免了在现有技术中已知的缺点。尤其防止夹具在轴上倾斜，并且与现有技术相比，力传递得到提升。 

本实用新型提出一种夹具，所述夹具用于能运输穿过具有处理液体的处理池的平的衬底，所述夹具具有：能插装到能旋转的轴上的套筒，所述套筒在其壳面上具有至少一个突出的、环绕的用于衬底的接触面和两个端部；以及用于将力从所述轴传递到所述套筒上的至少一个携动件，所述携动件能够力配合和/或形状接合地在所述套筒的侧向上定位在所述轴上并且具有爪，所述爪与设置在所述套筒的朝向所述爪的端部上的凹部配合。 

本实用新型还提出一种携动件，所述携动件用于能插装到能旋转的轴上的套筒，以用于将力从所述轴传递到所述套筒上，所述携动件能够力配合和/或形状接合地在所述套筒的侧向上定位在所述轴上并且具有爪，所述 爪与设置在所述套筒的朝向所述爪的端部上的凹部配合。 

下面参考附图来阐明本实用新型。在此示出： 

图1示出根据现有技术的夹具； 

图2示出夹具的优选实施方式； 

图3示出携动件的优选实施方式的两个半壳的分解图； 

图4示出根据图3的半壳的装配。 

在图1中示出的根据现有技术的夹具具有推到能旋转的轴2上的相对于轴2具有径向间隙的并带有两个接触面4的套筒3。所述套筒3借助销Z驱动，所述销横向地穿过轴2插入并且锚固在所述轴中。这样的解决方案具有上述的缺点。 

在图2中示出夹具1的优选实施方式的立体视图，所述夹具用于能运输穿过具有处理液的处理池的平的衬底（相应地没有示出）。夹具1包括能插装到能旋转的轴2上的相对于轴具有径向间隙的套筒3，所述套筒在其壳面3A上具有用于衬底（没有示出）的两个突出的环绕的接触面4和两个端部5A、5B。此外夹具包括携动件6A、6B，以用于将力从轴2传递到套筒3上。夹具1的特征在于，携动件6A、6B力配合和/或形状接合地在套筒3的侧向上定位在轴2上，并且具有爪7A，所述爪与设置在套筒3的朝向爪的端部5A或5B上的凹部7B配合。 

在图2中示出夹具1的优选实施方式的立体视图，所述夹具用于能运输穿过具有处理液的处理池的平的衬底（相应地没有示出）。夹具1包括能插装到能旋转的轴2上的相对于轴具有径向间隙的套筒3，所述套筒在其壳面3A上具有用于衬底（没有示出）的两个突出的环绕的接触面4和两个端部5A、5B。此外夹具包括携动件6A、6B，以用于将力从轴2传递到套筒3上。夹具1的特征在于，携动件6A、6B力配合和/或形状接合地在套筒3的侧向上定位在轴2上，并且具有爪7A，所述爪与设置在套筒3的朝向爪的端部5A或5B上的凹部7B配合。 

由于爪7A，与借助由现有技术已知的销Z相比能够传递显著更大的力。 

爪7A优选构造成，使得它们在与凹部7B共同作用时允许套筒3在轴2上的径向间隙。 

根据示出的和优选的实施方式，夹具1具有正好两个携动件6A、6B，所述携动件定位在套筒3的两个端部5A、5B上。根据替选的没有示出 的实施方式也可设置仅唯一的携动件6A或6B，其中，在套筒3的另一端部5B或5A上设有在轴2上的凸肩（没有示出）或类似部件，以便轴向固定套筒3。 

在使用两个相对于套筒2对称设置的携动件6A、6B的情况下，有效地避免套筒3在轴2上的倾斜。 

如图3和图4中可看出，优选在携动件6A、6B的内面8上设置突出的圆柱体9A，以用于将力从轴2（在图3中没有示出）传递到携动件6A、6B上，所述圆柱体9A与在轴2的壳面2A中的凹槽9B优选形状接合地配合（对此参见图2）。明显的是，其他优选形状接合作用的几何形状能够承担力传递的相同功能。也明显的是，为了准确的功能，在图2中为了图解示出而在图的左边示出的凹槽9B尤其必须设置在轴2的壳面2A的由携动件6A、6B覆盖的区域中，以便确保携动件6A、6B相对于套筒3的准确定位。