[实用新型]一种掩膜板清洁装置

权利要求书

1.一种掩膜板清洁装置，其特征在于，包括：

粒子检测室，内部具有检测掩膜板表面粒子信息的粒子检测装置；

根据所述粒子检测装置采集的粒子信息，当掩膜板的表面存在粒子污物时对掩膜板进行清洁的清洁单元；

夹持并移动所述掩膜板的机械手装置。

2.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，还包括：

储存待清洁掩膜板的掩膜板存储柜；

存放已清洁掩膜板的曝光机掩膜板放置区域。

3.根据权利要求2所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述清洁单元包括：

掩膜板风淋室；

掩膜板湿洗室；

掩膜板烘干室。

4.根据权利要求3所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，还包括：

信号连接所述粒子检测装置和所述机械手装置的信号处理模块，当粒子检测装置检测到掩膜板表面的粒子污物数量超过一设定值时，所述信号处理模块信号控制所述机械手装置将该掩膜板依次放入掩膜板风淋室、掩膜板湿洗室、掩膜板烘干室，且所述机械手装置将清洁后的掩膜板放入曝光机掩膜板放置区域；当粒子检测装置检测到掩膜板表面存在粒子污物，且数量未超过一设定值时，所述信号处理模块信号控制所述机械手装置将该掩膜板放入掩膜板风淋室清洁后，放入曝光机掩膜板放置区域。

5.根据权利要求4所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述粒子检测室、掩膜板风淋室、掩膜板湿洗室、掩膜板烘干室沿竖直方向依次排列。

6.根据权利要求5所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述掩膜板存储柜的开口与所述掩膜板风淋室、掩膜板湿洗室以及掩膜板烘干室的开口相对设置，且所述机械手装置包括：

沿竖直方向设置的导向条；

可沿所述导向条竖直滑动，以拖动所述掩膜板上下位移的托架；

夹持并水平移动所述掩膜板的机械手；

驱动所述托架以及机械手的驱动装置。

7.根据权利要求4所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述掩膜板风淋室内与所述掩膜板的正面以及反面相对的两个内壁均设有风淋装置。

8.根据权利要求4所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述掩膜板湿洗室内与所述掩膜板的正面以及反面相对的两个内壁均设有湿洗装置。