[实用新型]一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机有效

专利信息
申请号: 201220542340.3 申请日: 2012-10-23
公开(公告)号: CN202845376U 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 张凌松 申请(专利权)人: 宿迁宇龙光电科技有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12
代理公司: 淮安市科文知识产权事务所 32223 代理人: 谢观素
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 清洗 水槽 超声
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及光电领域,具体涉及一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机。

背景技术

光电领域中,硅是非常重要和常用的半导体原料,是太阳能电池最理想的原材料。制备硅片的原料表面一般都会有杂质和一些氧化物,必须要经过清洗后才能进入后续工序使用。由于硅原料的表面状况不一,许多表面没有杂质或氧化物的原料经常因为没有被及时筛选出,而同样进行酸洗,造成原料的浪费,增加了生产成本。

发明内容

本实用新型的目的在于:克服现有技术的不足,提供一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机,使表面没有杂质或氧化物的硅原料经过冲洗后直接进行超声清洗。

本实用新型所采取的技术方案是:

一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机,包括箱体,所述箱体依次设有控制箱、清洗水槽和水箱,所述清洗水槽上方分别设有盖板,所述清洗水槽分为超声清洗水槽和冲淋清洗水槽。

本实用新型进一步改进方案是,所述冲淋清洗水槽的底面中心纵向设有排水槽。

本实用新型更进一步改进方案是,所述排水槽上固定有漏水板,所述漏水板的表面均匀分布有漏水孔。

本实用新型更进一步改进方案是,所述冲淋清洗水槽内的底面上放置有支撑架,冲淋清洗水槽的左右两侧面顶部分别对称固定有冲淋水管。

本实用新型更进一步改进方案是,所述冲淋水管上均匀分布有出水口。

本实用新型更进一步改进方案是,所述超声清洗水槽设有超声发生器。

本实用新型更进一步改进方案是,所述盖板顶面的中心设有提拉装置,盖板底面四周边缘部位设有密封条。

本实用新型的有益效果在于:

用本实用新型进行硅原料的清洗时,先将硅原料通过冲淋清洗水槽进行冲洗,之后将冲洗过的硅原料进行分类:表面有杂质或氧化物的硅原料进行酸洗后再进行超声清洗,表面没有杂质或氧化物的直接进行超声清洗即可。从上述工作过程可知,用本实用新型进行硅原料的清洗,既方便快捷、工作效率高,又能节约成本、降低损耗。

附图说明:                               

图1为本实用新型结构主视示意图。

图2为冲淋清洗水槽结构剖视放大示意图。

图3为冲淋清洗水槽结构俯视放大示意图。

具体实施方式:

结合图1、图2和图3所示,本实用新型包括箱体5,所述箱体5依次设有控制箱2、清洗水槽1和水箱3,所述清洗水槽1上方分别设有盖板4,所述清洗水槽1分为超声清洗水槽1’’和冲淋清洗水槽1’;所述冲淋清洗水槽1’的底面中心纵向设有排水槽9;所述排水槽9上固定有漏水板6,所述漏水板6的表面均匀分布有漏水孔12;所述冲淋清洗水槽1’内的底面上放置有支撑架8,冲淋清洗水槽1’的左右两侧面顶部分别对称固定有冲淋水管7;所述冲淋水管7上均匀分布有出水口;所述超声清洗水槽1’’设有超声发生器;所述盖板4顶面的中心设有提拉装置11,盖板4底面四周边缘部位设有密封条10。

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