[实用新型]一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机有效
申请号: | 201220542340.3 | 申请日: | 2012-10-23 |
公开(公告)号: | CN202845376U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 张凌松 | 申请(专利权)人: | 宿迁宇龙光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 谢观素 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 清洗 水槽 超声 | ||
技术领域
本实用新型涉及光电领域,具体涉及一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机。
背景技术
光电领域中,硅是非常重要和常用的半导体原料,是太阳能电池最理想的原材料。制备硅片的原料表面一般都会有杂质和一些氧化物,必须要经过清洗后才能进入后续工序使用。由于硅原料的表面状况不一,许多表面没有杂质或氧化物的原料经常因为没有被及时筛选出,而同样进行酸洗,造成原料的浪费,增加了生产成本。
发明内容
本实用新型的目的在于:克服现有技术的不足,提供一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机,使表面没有杂质或氧化物的硅原料经过冲洗后直接进行超声清洗。
本实用新型所采取的技术方案是:
一种带有冲淋清洗水槽的硅料超声清洗机,包括箱体,所述箱体依次设有控制箱、清洗水槽和水箱,所述清洗水槽上方分别设有盖板,所述清洗水槽分为超声清洗水槽和冲淋清洗水槽。
本实用新型进一步改进方案是,所述冲淋清洗水槽的底面中心纵向设有排水槽。
本实用新型更进一步改进方案是,所述排水槽上固定有漏水板,所述漏水板的表面均匀分布有漏水孔。
本实用新型更进一步改进方案是,所述冲淋清洗水槽内的底面上放置有支撑架,冲淋清洗水槽的左右两侧面顶部分别对称固定有冲淋水管。
本实用新型更进一步改进方案是,所述冲淋水管上均匀分布有出水口。
本实用新型更进一步改进方案是,所述超声清洗水槽设有超声发生器。
本实用新型更进一步改进方案是,所述盖板顶面的中心设有提拉装置,盖板底面四周边缘部位设有密封条。
本实用新型的有益效果在于:
用本实用新型进行硅原料的清洗时,先将硅原料通过冲淋清洗水槽进行冲洗,之后将冲洗过的硅原料进行分类:表面有杂质或氧化物的硅原料进行酸洗后再进行超声清洗,表面没有杂质或氧化物的直接进行超声清洗即可。从上述工作过程可知,用本实用新型进行硅原料的清洗,既方便快捷、工作效率高,又能节约成本、降低损耗。
附图说明:
图1为本实用新型结构主视示意图。
图2为冲淋清洗水槽结构剖视放大示意图。
图3为冲淋清洗水槽结构俯视放大示意图。
具体实施方式:
结合图1、图2和图3所示,本实用新型包括箱体5,所述箱体5依次设有控制箱2、清洗水槽1和水箱3,所述清洗水槽1上方分别设有盖板4,所述清洗水槽1分为超声清洗水槽1’’和冲淋清洗水槽1’;所述冲淋清洗水槽1’的底面中心纵向设有排水槽9;所述排水槽9上固定有漏水板6,所述漏水板6的表面均匀分布有漏水孔12;所述冲淋清洗水槽1’内的底面上放置有支撑架8,冲淋清洗水槽1’的左右两侧面顶部分别对称固定有冲淋水管7;所述冲淋水管7上均匀分布有出水口;所述超声清洗水槽1’’设有超声发生器;所述盖板4顶面的中心设有提拉装置11,盖板4底面四周边缘部位设有密封条10。
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