[实用新型]一种改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置有效

专利信息
申请号: 201220543007.4 申请日: 2012-10-23
公开(公告)号: CN202953828U 公开(公告)日: 2013-05-29
发明(设计)人: 周连会 申请(专利权)人: 唐山三孚硅业股份有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 代理人: 李桂芳
地址: 063305*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 改进 三氯氢硅 合成 电感 加热 装置
【权利要求书】:

1.一种改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置,其特征在于:它的构成中包括保温层、绝缘层、电感线圈(2),保温层包裹在合成炉(1)反应段的外圆周,在保温层外固定布设有绝缘层,电感线圈(2)缠绕在绝缘层外,电感线圈(2)分为上下两层,采用三相380V供电,上层电感线圈(2)的首端接电源的A相,尾端接B相,下层的电感线圈(2)首端接C相,尾端接B相。

2.根据权利要求1所述的改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置,其特征在于:所述保温层层厚为6—10cm,保温层外缠绕纤维布。

3.根据权利要求1或2所述的改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置,其特征在于:所述绝缘层为多根绝缘电木(3)组成,多根绝缘电木(3)垂直放置,沿合成炉(1)外圆周均匀分布,在绝缘电木(3)的底部和中间部位分别固定一个托臂(4),电感线圈(2)放置在托臂(4)上。

4.根据权利要求3所述的改进的三氯氢硅合成炉电感加热装置,其特征在于:所述电感线圈(2)采用硅橡胶电缆缠绕制作。

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