[实用新型]高频感应加热式蒸发源

说明书

技术领域：

    本实用新型与真空卷绕镀膜机的金属蒸发源有关。

背景技术：

真空卷绕镀膜机是在塑料薄膜上蒸镀一层金属膜，使膜材熔化的蒸发源有电阻加热、感应加热、电子束加热方式。感应加热式蒸发源的优点是：1）蒸发速率大，2）蒸发温度稳定，不易产生膜材飞溅，3）膜材安装简单，4）膜材纯度要求低。已有的高频感应加热式蒸发源与塑料膜之间的距离调节不便，蒸发源之间的水平距离调节不便，感应线圈和坩埚在安装座上易发生晃动，感线圈温度过高而影响使用寿命。石墨坩埚容易损坏。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种安装和调节方便，使用寿命长的高频感应加热式蒸发源。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型、高频感应加热式蒸发源，安装座6上部圆盘上有同心凸台11，外坩锅2位于凸台上，外坩埚2的外表面有感应线圈5，压块10上端有凸缘压在线圈5上端，压块10通过螺栓与安装座上的支架连接，安装座6下面的轴与调节杆8的内腔竖向滑动配合，由锁紧螺钉7固定，调节杆8的下端与安装导轨9水平滑动配合，有固定螺栓12，内坩埚1位于外坩埚2内，内、外坩埚之间有隔热层3。

所述的感应线圈5为铜管，与水管接头4连接。

本实用新型有如下优点：

1、蒸发的膜材放置在内坩锅1里，感应线圈5通入高频感应电流，膜材在高频电磁场感应下产生强大的涡流，使膜材升温熔化，直至蒸发。

2、内坩锅1为石墨坩锅，为防止损坏，导致膜材流出，增加一个材料为陶瓷外坩锅2，内外坩锅之间有隔热层3。

3、通过升降高度调节杆8，可以调节坩锅与膜材的距离，使膜厚均匀，调节到需要高度后，用锁紧螺钉7固定。

4、感应线圈5为铜管，并安装水管接头4，可以在线圈5内通冷却水，防止线圈温度过高。

5、坩锅可以在安装导轨9上移动，调节坩锅间的距离，使膜厚均匀，移到需要的位置后，用螺栓12固定。

6、线圈压块10用螺钉固定在安装座6上，用于压住感应线圈5，防止线圈晃动；坩锅直接放在安装座6上，不需要固定，通过安装座凸台11对线圈定位，从而达到限制坩锅位置，使用方便。

附图说明：  

图1为本实用新型的主视图。

图2为图1的右视图。

具体实施方式：

    外坩埚2由陶瓷制成，内坩埚1为石墨坩埚位于外坩埚内，内、外坩埚之间有隔热层3，感应线圈５为铜管与水管接头4连接，感应线圈位于外坩埚表面，压块10压住感应线圈，用螺钉固定在安装座6上，安装座6上的凸台11对线圈定位，安装座6与调节杆8连接，有锁紧螺钉7。调节杆8与安装导轨滑动配合，用螺栓12固定。