[实用新型]晶圆盒底座

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆盒底座，特别是一种在本体及闩锁机构之间设有两弹性机构、并于所述闩锁机构及透明底板之间设有一定位机构来避免相关组件锁扣不确实以防止晶圆被摔毁的晶圆盒底座。

背景技术

为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞，现有晶圆代工厂会利用一可运送及可密封的晶圆盒来放置及运送晶圆。

请参考附图1所示，一种现有的晶圆盒，其包含一盒罩A、一晶圆放置架B及一晶圆盒底座C。所述晶圆盒底座C具有一本体91，所述本体91为一内部中空的盒体，其内部设有一闩锁机构92，其底部设有一透明底板93。所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体91上形成一容置空间。所述晶圆放置架B设于所述本体91的顶面，用以承载多个晶圆(图未示)。

如附图1所示，所述闩锁机构92包含一转动开关921及两对称设置的闩锁板922。所述转动开关921设有一枢接孔921a、两凸轮921b及两驱动销孔921c。所述枢接孔921a设于所述转动开关921的中心，所述两凸轮921b为对称的设在所述枢接孔921a的两侧，所述两驱动销孔921c分别为一盲孔，设于所述转动开关921的底部，且分别伸入所述两凸轮921b的内部。所述闩锁板922设有一抵接边922a及两卡掣部922b。

如附图1所示，所述本体91内部中央设有一枢接座911，所述透明底板93中央设有一轴孔931，一枢接件a从底部向上依序穿过所述透明底板93的轴孔931、所述转动开关921的枢接孔921a及所述本体91的枢接座911。所述透明底板93进一步设有两弧型孔932，以供一外部的驱动装置(图未示)穿过所述两弧型孔932而插设于所述转动开关921的所述两驱动销孔921c内，以便控制所述转动开关921做一限定角度的转动，所述闩锁机构92具有一缩入位置(解锁状态)及一伸出位置(扣锁状态)。

请再参考附图1所示，所述闩锁机构92的所述两闩锁板922为对称的设于所述转动开关921的两侧，受到弹性件(图未示)的作用，所述抵接边922a保持抵接于所述转动开关921的凸轮921b上。另外，相对于所述卡掣部922b的位置，所述本体91两相对的侧面共开设有四开口912。当所述闩锁机构92处于解锁状态时，各所述卡掣部922b会位于所述本体91的各所述开口912的内部；当转动开关921受外部驱动做一限定角度的转动时，所述凸轮921b抵接所述闩锁板922的抵接边922a，以推动所述两闩锁板922分别向外伸出一段距离。因此，当所述闩锁机构92处于扣锁状态时，各所述卡掣部922b会伸出所述本体91的各所述开口912的外部，并且扣住所述盒罩A对应设置的卡槽A1内，进而使所述盒罩A与所述晶圆盒底座C形成密封的状态。

如上所述，所述晶圆盒是借着所述闩锁机构92来确保所述盒罩A与所述晶圆盒底座C的锁固来形成密闭，以保护内部的所述晶圆放置架B(及放置其上的晶圆)。为检视所述闩锁机构92确实将所述盒罩A与所述晶圆盒底座C锁固，于所述本体91的各所述开口912的上方适当位置开设一检窗口913。此外，于所述透明底板93与转动开关921之间设有一耐磨环933来避免两者因作动磨擦而产生粉尘的目的。

如上所述，所述晶圆盒底座C的闩锁机构92平日呈一缩入位置(解锁状态)，若要所述盒罩A盖设在所述晶圆盒底座C上组装成一体以进行运送时，需借由外部的驱动装置(图未示)穿过所述两弧型孔932而插设于所述转动开关921的所述两驱动销孔921c内，以便控制所述转动开关921做一限定角度的转动，进而带动所述闩锁机构92呈伸出位置以达到扣锁状态。

因此操作人员大多仅以目视方式观看检窗口913来分析晶圆盒是否锁扣，并进行后续搬运流程。然而，长期使用所述晶圆盒后，由于相关组件摩擦老化或人为操作不确实，而造成所述闩锁机构92没有确实扣锁所述盒罩A，以致搬运过程中所述晶圆放置架B及所述晶圆盒底座C意外掉落的情况时常发生。

故，有必要提供一种晶圆盒底座，以解决现有技术所存在的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒底座，其为在本体及闩锁机构之间设有两弹性机构，使闩锁机构在无外力干涉下呈一伸出位置(扣锁状态)，使盒罩与晶圆盒底座组装时需将闩锁机构先进行解锁后再进行扣锁动作，以避免因组件之间扣锁不确实而造成的盒罩与晶圆盒底座意外分开，而造成晶圆被摔毁的情形。