[实用新型]烘烤设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示面板的烘烤工艺领域，尤其涉及一种烘烤设备。

背景技术

显示面板中的基板在制造过程中，烘烤是其中一项重要的工艺步骤，例如，对于基板上光刻胶的烘烤。

如图1所示，现有技术中的烘烤设备通常为热板上设置有多个支撑针（Pin），基板放置于Pin上，在烘烤的过程中，基板的下表面部分与Pin直接接触，部分裸露在空气中。由于基板的Pin接触部分和裸露部分的热传导方式差异较大，从而造成基板受热温度不均，另外，在烘烤的过程中，容易产生静电且在Pin的尖端释放，从而对基板造成破坏。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种烘烤设备，在烘烤过程中通过热气流的推动使基板漂浮，从而避免了基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种用于显示面板的烘烤设备，包括：

热风产生装置、底板和气管；

所述底板上设置有多个气孔，所述气孔通过所述气管与所述热风产生装置连通。

所述多个气孔在所述底板的上表面均匀分布。

所述多个气孔相互连通，通过一个或多个气管与热风产生装置相连通。

所述气孔与气管之间设置有第一密封结构，和/或所述气管与热风产生装置之间设置有第二密封结构。

所述气管包括设置于所述底板内部的内管和设置于所述底板外部的外管；

每根所述内管于至少一个气孔连通；

所述内管与外管相互连通；

所述外管与所述热风产生装置连通。

所述外管从所述底板的一个端面或相对两个端面或四个端面连通至内管，所述端面与上表面垂直。

所述底板上设置有水平限位结构。

所述水平限位结构为设置在底板上的多个限位块。

所述烘烤设备还包括：

能够穿过所述底板，降至所述底板的上表面之下的升降装置。

烘烤设备还包括：运送需要加工的基板至底板的基板运送装置。

本实用新型实施例中的烘烤设备，在烘烤过程中，由于通过热风的推力使基板悬浮于底板之上而不会与底板发生接触，从而避免了现有技术中基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中一种烘烤设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中一种烘烤设备的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中另一种烘烤设备的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中运送基板的示意图；

图5为本实用新型实施例中升降装置放置基板的示意图；

图6为图3中底板的俯视图；

图7为本实用新型实施例中一种烘烤设备的底板的剖面结构示意图；

图8为本实用新型实施例中一种烘烤设备的气管的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图2所示，该图为本实用新型实施例中一种烘烤设备的结构示意图。

本实用新型实施例提供了一种用于显示面板的烘烤设备，具体可以包括：

热风产生装置1、底板2和气管3。

底板2上设置有多个气孔21，气孔21通过气管3与热风产生装置1连通。

具体地，在烘烤过程中，热风产生装置1产生的热风通过气管3送至气孔21，进而使热风从气孔21向上排出，在热风的推力下，基板4悬浮于底板2之上而不会与底板2发生接触。

本实用新型实施例中的烘烤设备，在烘烤过程中，由于通过热风的推力使基板悬浮于底板之上而不会与底板发生接触，从而避免了现有技术中基板受热不均或者由于静电释放造成破坏。

进一步地，如图3所示，底板2上可以设置有水平限位结构22，水平限位结构22具体可以为多个限位块。