[实用新型]高温减压扩散炉

权利要求书

1. 一种高温减压扩散炉，包括石英管（10），石英管（10）的一端为石英管口并在石英管口处装石英门（8），而石英管（10）的另一端与工艺气体排气管（12）连接，其特征是，所述石英管口包括同圆心的石英管内端口（20）和置于石英管内端口（20）外侧且半径大于石英管内端口（20）半径的石英管外端口（21）；所述石英门（8）安装在石英管内端口（20），而石英管外端口（21）安装不锈钢炉门（1），所述石英门（8）与不锈钢炉门（1）构成过渡腔（15），并在过渡腔（15）内的石英门（8）与不锈钢炉门（1）之间安装缓冲固定装置（7）；所述不锈钢门（1）上设有向过渡腔（15）内通入气体的吹扫气体进气口（2）和从过渡腔（15）内排放气体的吹扫气体排气口（3）。

2.根据权利要求1所述高温减压扩散炉，其特征是，与外端口管壁对应的不锈钢炉门（1）上设有密封槽（18），并在密封槽（18）内安装密封圈（4）。

3.根据权利要求1所述高温减压扩散炉，其特征是，与密封槽（18）对应的不锈钢炉门（1）外侧设有进水接口（16）和出水接口（17），并在不锈钢炉门（1）内设有与进水接口（16）和出水接口（17）连接的水冷槽（19）。

4.根据权利要求1所述高温减压扩散炉，其特征是，所述吹扫气体排气口（3）通过排气管（11）连接到工艺气体排气管（12）。

5.根据权利要求1所述高温减压扩散炉，其特征是，所述石英门（8）内部为中空，并在石英门（8）内部填充隔热纤维（9）。