[实用新型]一种金属薄膜桥点火器有效

专利信息
申请号: 201220553797.4 申请日: 2012-10-26
公开(公告)号: CN202955726U 公开(公告)日: 2013-05-29
发明(设计)人: 景涛;白庆星;何迎辉;程文进;黄华山;王玉明;王栋;任伟 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: F23Q13/00 分类号: F23Q13/00;B32B33/00
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 薄膜 点火器
【权利要求书】:

1.一种金属薄膜桥点火器,其特征在于,所述金属薄膜桥点火器(1)包括基片(2),设于基片(2)上的过渡膜(3),设于过渡层薄膜(3)上的热隔离膜(4),设于热隔离膜(4)上的金属电阻膜(5),设于金属电阻膜(5)上的电极薄膜(6),设于电极薄膜(6)上的通孔(13)。

2.如权利要求1所述的金属薄膜桥点火器,其特征在于,所述基片(2)直径为100mm~400mm,厚度为30μm~200μm;所述过渡层薄膜(3)厚度为0.05μm~0.1μm;所述热隔离膜(4)厚度为0.1μm~1μm;所述金属电阻膜厚(5)度为0.2μm~4μm;所述电极薄膜(6)厚度为0.05μm~0.1μm。

3.如权利要求1所述的金属薄膜桥点火器,其特征在于,所述基片(2)材料为聚酰亚胺;所述过渡层薄膜(3)材料为Ta2O5;所述热隔离膜(4)材料为SiO2

4.如权利要求1所述的金属薄膜桥点火器,其特征在于,所述金属电阻膜(5)材料为Ni-Cr合金、Ta2N、Cr、Pt、W中的一种。

5.如权利要求1所述的金属薄膜桥点火器,其特征在于,所述金属电阻膜(5)材料为Ni-Cr合金。

6.如权利要求1所述的金属薄膜桥点火器,其特征在于,所述电极薄膜(6)材料为Au。

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