[实用新型]漏光检测基板及漏光检测装置

权利要求书

1.一种漏光检测基板，包括：衬底基板和形成于所述衬底基板上的光致变色材料层。

2.根据权利要求1所述的漏光检测基板，其特征在于，还包括第二基板，覆盖在所述光致变色材料层上。

3.根据权利要求2所述的漏光检测基板，其特征在于，所述衬底基板和所述第二基板通过基板边缘区域的封框胶粘结固定，所述封框胶的厚度不小于所述光致变色材料层的厚度。

4.根据权利要求1所述的漏光检测基板，其特征在于，所述漏光检测基板是用于对紫外光掩膜设备进行漏光检测；所述光致变色材料层的材料至少包括：光致变色螺吡喃聚合物、螺-恶嗪聚合物、二芳基乙烯光致变色聚合物、偶氮苯类光致变色聚合物、苯氧基萘并萘醌光致变色聚合物、俘精酰亚胺光致变色共聚物、硫靛光致变色共聚物、双硫腙光致变色聚合物、二氢吲嗪光致变色聚合物、WO₃、MoO₃或TiO2中的一种。

5.一种漏光检测装置，包括如权利要求1~4任一项所述的漏光检测基板；其特征在于，所述漏光检测装置包括图案采集单元，所述图案采集单元用于获取所述漏光检测基板上的图案信息。

6.根据权利要求5所述的漏光检测装置，其特征在于，还包括检测结果单元，所述检测结果单元与所述图案采集单元连接以显示所述图案采集单元所采集到的图案信息。

7.根据权利要求5所述的漏光检测装置，其特征在于，所述图案采集单元为照相机。

8.根据权利要求5所述的漏光检测装置，其特征在于，还包括紫外光照射装置，用于发出用于固化封框胶的紫外光，将所述紫外光照射到待检测的紫外光掩膜设备上，其中透过所述紫外光掩膜设备的紫外光照射到所述漏光检测基板上。

9.根据权利要求8所述的漏光检测装置，其特征在于，还包括紫外光挡板，所述紫外光挡板设置在所述紫外光照射装置、所述漏光检测基板以及所述图案采集单元的外围。

10.根据权利要求9所述的漏光检测装置，其特征在于，还包括通风装置，位于所述紫外光挡板的壁上，用于对所述紫外光挡板所围的空间进行通风。

11.根据权利要求5所述的漏光检测装置，其特征在于，还包括传送装置，所述传送装置用于将待检测的紫外光掩膜设备传送到所述漏光检测基板的光入射一侧。

12.根据权利要求8所述的漏光检测装置，其特征在于，还包括系统控制单元，与所述紫外光照射装置和所述图案采集单元连接，所述系统控制单元用于控制所述紫外光照射装置发出所述紫外光，以及控制所述图案采集单元获取所述漏光检测基板上的图案信息。