[实用新型]复合真空计

说明书

复合真空热计

技术领域

本实用新型涉及真空度检测领域，提供了一种用于检测真空容器的真空度，直接显示以（Pa）为单位的真空值的数字式真空计。

背景技术

目前，国内市场上的真空测量仪表品种较多，但由于各种真空测量方法的局限性，每种真空仪表都受其测量上限和下限的限制，可测量的真空范围窄。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种复合真空计。

本实用新型为了实现上述目的采用以下技术方案：

一种复合真空计，其特征在于：包括顺序连接的测量部分、多路选通开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘通讯接口，还包括为整个系统供电的电源系统；

所述测量部分包括相连接的热偶规管和电势放大器、相连接电离规管和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与多路选通开关连接；

热偶规管和电离规管对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号(热偶规测量)或电流信号(电离规测量)，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。

上述方案中，还包括量程转换单元，和用于对电离规管灵敏度进行控制的稳发射电路，所述量程转换单元与单片机、离子流放大器和稳发射电路连接。

上述方案中，所述通讯接口为CAN总线接口。

本实用新型具有以下有益效果：

一、本实用新型采用热偶规和电离规双传感器检测真空度，在不同的压强下，通过热偶规和电离规的搭配使用测量真空室的压强值，测量范围可达                                                。其中热偶规的测量范围是，而电离规的测量范围是。

二、本实用新型具有量程自动切换。当真空室压强值在范围内时用热偶规测量可得到满意的线性度，而此时由于电离规在该范围内线性度降低，不能使用，仪器可自动控制热偶规进行测量；当真空室压强值在范围时热偶规的线性度降低，不能使用，而电离规测量才能获得高线性度，仪器可自动无扰动地将测量传感器由热偶规切换到的电离规；当真空室压强由变化到时，仪器又可自动无扰动地将测量传感器由电离规切换到热偶规。

三、本实用新型能够对热偶规和电离规的测量结果分别用双窗口显示。

附图说明

图1为本实用新型的系统方框图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：

如图1所示，本实用新型提供的真空计包括电源部分、测量部分、多路选通开关、A／D转换器、单片机，与单片机连接LED显示器和键盘。单片机选用。选用Freescale公司的MC9S12系列中的MC9S12DGl28。测量部分包括热偶规测量、放大和电离规测量、放大。工作时，测量部分通过传感器(热偶规管和电离规管)对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号(热偶规测量)或电流信号(电离规测量)，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。另外，智能化真空计具有CAN总线接口，他可通过CAN总线与其他智能设备进行通讯。

本实用新型采用热偶规和电离规双传感器检测真空度，在不同的压强下，通过热偶规和电离规的搭配使用测量真空室的压强值，测量范围可达。其中热偶规的测量范围是，而电离规的测量范围是。

本实用新型具有量程自动切换。当真空室压强值在范围内时用热偶规测量可得到满意的线性度，而此时由于电离规在该范围内线性度降低，不能使用，仪器可自动控制热偶规进行测量；当真空室压强值在范围时热偶规的线性度降低，不能使用，而电离规测量才能获得高线性度，仪器可自动无扰动地将测量传感器由热偶规切换到的电离规；当真空室压强由变化到时，仪器又可自动无扰动地将测量传感器由电离规切换到热偶规。本实用新型能够对热偶规和电离规的测量结果分别用双窗口显示。