[实用新型]一种磷化铟生长材料烘烤炉有效
| 申请号： | 201220559404.0 | 申请日： | 2012-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN202968759U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 关活明 | 申请（专利权）人： | 台山市华兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/40;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 529200 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 生长 材料 烤炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种磷化铟生长材料烘烤炉，其特征在于：所述烘烤炉包括烘烤炉外套、绝缘陶瓷件、加热棒及石英管。烘烤炉外套由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件及加热棒，不锈钢外壁与绝缘陶瓷件之间填充有隔热材料，石英管一端封口，另一端开口。
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