[实用新型]充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种充气逆止阀以及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置。

背景技术

现今的半导体精密元件的工艺多区分为多个处理腔体，利用精密元件收纳装置在各处理腔体的间搬移精密元件。

为了使精密元件的保存与运输过程中保持无污染的清洁状态，并为了隔绝精密元件与大气的接触，在精密元件收纳装置中充入气体便是目前解决的手段的一。

因此目前市面上的精密元件收纳装置会设有一个逆止阀，使得充入精密元件收纳装置的气体不会外泄。逆止阀的原理是利用弹簧与阀门，也就是利用弹簧的弹力抵住阀门。当充入气体时，进气的力量会大于弹簧的弹力，因此能推动阀门，而达成充气的目的，使得精密元件收纳装置内充满气体，例如氮气。

一般而言，充气装置在提供气体到精密元件收纳装置时，进气的推力并不会太大，仅需大于逆止阀弹簧的弹力即可。但是逆止阀弹簧的弹力也不可过大，否则进气的推力若无法使阀门完全打开，会导致精密元件收纳装置内的气体不足，就未能达到清洁精密元件的功效。

然而，若将逆止阀弹簧的弹力降低，利用精密元件收纳装置在各处理腔体之间搬移的过程中，任何的晃动或震动都会很容易导致逆止阀的弹簧被震开，也就是非正常的开启阀门，进而造成精密元件收纳装置的漏气。

有鉴于此，有必要提供一种气密性较佳的充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气密性较佳的充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置，以便在精密元件收纳装置的搬运过程中，不易因摇晃而导致漏气。

为达上述目的，本实用新型提供一种充气逆止阀，其包括：

一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及

一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；

其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。

上述的充气逆止阀，其中该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。

上述的充气逆止阀，其中该上阀门与该下阀门为一体成型。

上述的充气逆止阀，其中该第二弹性元件为一弹片。

上述的充气逆止阀，其中该弹片与该移动控制部结合为一体。

上述的充气逆止阀，其中该第二弹性元件是一弹簧，且该移动控制部还包括一沟槽，该沟槽对应于该弹簧，以使该弹簧的一部分嵌入该沟槽。

为达上述目的，本实用新型还提供一种具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，该精密元件收纳装置包括：

一收纳本体，其具有一开口；及

一门体，其对应于该开口，以密封该开口；

其中，至少一贯穿孔位于该门体或该收纳本体，该充气逆止阀嵌合于该贯穿孔，以控制气体的进出；

其中该充气逆止阀包括：

一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及

一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；

其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。