[实用新型]一种喷涂制绒系统

权利要求书

1.一种喷涂制绒系统，其特征在于，包括：

抛光槽、制绒槽、第一漂洗槽、碱洗槽、第二漂洗槽、酸洗槽、第三漂洗槽、吹干槽及用于传输硅片的滚轮；

所述抛光槽、制绒槽、第一漂洗槽、碱洗槽、第二漂洗槽、酸洗槽、第三漂洗槽及吹干槽依次相连；

所述制绒槽内设有喷涂机。

2.如权利要求1所述的喷涂制绒系统，其特征在于，所述喷涂机包括至少一个喷头。

3.如权利要求2所述的喷涂制绒系统，其特征在于，所述喷涂机还包括用于控制所述喷头的控制器。

4.如权利要求2所述的喷涂制绒系统，其特征在于，所述喷头上设有喷嘴，所述喷嘴的横截面为两同心正六边形所形成的环形结构。

5.如权利要求4所述的涂制绒系统，其特征在于，所述喷嘴的壁厚为5um~10um；

所述环形结构的内正六边形边长为10um~20um；

所述环形结构的外正六边形边长为15um~30um。

6.如权利要求1所述的喷涂制绒系统，其特征在于，所述吹干槽内设有氮气吹风机或压缩空气吹风机。