[实用新型]有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置有效
| 申请号： | 201220567812.0 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202898524U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 赵大庸;闫晓剑 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12;H05B33/10;H05B33/14;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机物 蒸镀机 钝化 层蒸镀机 对接 用基板 旋转 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，包括：腔体，所述腔体为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接；
其特征在于，
所述腔体内设有一基板传递结构，用于传递和翻转基板；所述基板传递结构包括基板支架和回转轴，所述回转轴与腔体连接并可绕自身轴线转动，所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动；
所述回转轴连接一动力机构，所述动力机构与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机协调控制回转轴转动。
2.根据权利要求1所述的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，所述基板支架上设有多个保护垫，用于在基板支架夹持基板的过程中保护基板不受损坏。
3.根据权利要求1所述的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，所述基板支架及基板转动角度上限为180°。
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