[实用新型]从废液中提取异丙醇的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种从废液中提取异丙醇的装置。

背景技术

近年来，信息产业的发展推动了微电子行业常用材料的需求。据统计，集成电路产业制造中，材料消耗占了过半生产成本，紧密相关的材料除了大尺寸单晶硅片外，还有制程中微细加工的高纯试剂。

在亚微米超大规模集成电路制程中，无论是氧化后，还是刻蚀后，硅片表面都需做清洗，薄膜沉积及高温炉扩散，都需采用多种化学剂、纯水的多次处理，最终为避免在器件上留下水或油的痕迹，需要采用高纯异丙醇进行清洗。

对于上述制程中的废液，目前行业内普遍被当做工业垃圾或采用烧掉或采用埋掉被丢弃，这种处理方式，不但浪费高纯试剂，而且增加了半导体制造成本，且对环境造成了污染。

有鉴于此，本实用新型提出一种从废液中提取异丙醇的装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提出一种从废液中提取异丙醇的装置，降低半导体制造成本，节省资源，且环保。

为解决上述问题，本实用新型提出了一种从废液中提取异丙醇的装置，包括：

设有加液口的加热桶，所述加热桶的顶部密封；

用于对所述加热桶加热的加热装置，所述加热装置为围绕所述加热桶的电磁线圈；

用于控制所述加热装置工作状态的温度控制装置；

用于将气态的异丙醇变为液态的冷凝管，所述冷凝管的一端与加热桶的顶部相连；

用于收集液态异丙醇的接收桶，所述冷凝管的另一端伸入所述接收桶。

可选地，所述加热桶内靠近顶部设有过滤网。

可选地，所述过滤网的下方设有反渗透膜。

可选地，所述过滤网距离所述加热桶的顶部的高度为所述加热桶高度的三分之一至四分之一。

可选地，所述反渗透膜距离所述加热桶的顶部的高度为所述加热桶高度的二分之一至三分之一。

可选地，还包括过滤桶，所述过滤桶的底部设有与所述加热桶的加液口相连的出口。

可选地，所述过滤桶内靠近顶部设有过滤网。

可选地，所述过滤网的下方设有反渗透膜。

可选地，所述过滤网距离所述过滤桶的顶部的高度为所述过滤桶高度的三分之一至四分之一。

可选地，所述反渗透膜距离所述过滤桶的顶部的高度为所述过滤桶高度的二分之一至三分之一。

与现有技术相比，本实用新型技术方案具有以下优点：

（1）本实用新型的发明人对废液成分进行了分析，发现大部分为纯水；基于此，本技术方案采用高于异丙醇沸点（异丙醇的沸点介于81.8℃~83.5℃）低于纯水沸点之间的蒸馏温度对废液中的异丙醇进行分离，该蒸馏获取的异丙醇较纯，且所需装置包括：加热桶、加热装置、温度控制装置、冷凝管及接收桶，其中，该加热装置为围绕所述加热桶的电磁线圈，该电磁线圈加热效率高，加热状态易于控制，且上述装置整体简单，成本较低，且易操作，如此，对异丙醇进行了循环利用，避免了浪费。

（2）可选方案中，还对废液进行过滤操作，如此，避免了废液中的金属残屑等杂质参与蒸馏，降低了能耗。

（3）可选方案中，在（2）可选方案对废液进行过滤排除金属残屑的基础上，还对废液采用反渗透膜处理，使得其中的金属盐被过滤，避免了废液中的金属盐参与蒸馏，降低了能耗。

附图说明

图1为实施例一的从废液中提取异丙醇的装置结构示意图；

图2为实施例二的从废液中提取异丙醇的装置结构示意图；

图3为实施例三的从废液中提取异丙醇的装置结构示意图；

图4为实施例四的从废液中提取异丙醇的装置结构示意图。

具体实施方式

本实用新型采用蒸馏方式将废液中的异丙醇分离，该蒸馏获取的异丙醇纯度较高，其中，该加热装置为围绕所述加热桶的电磁线圈，该电磁线圈加热效率高，加热状态易于控制，且上述装置整体简单、易操作，如此，对异丙醇进行了循环利用，避免了浪费，同时降低了成本。

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广。因此本实用新型不受下面公开的具体实施方式的限制。

需要说明的是，提供这些附图的目的是有助于理解本实用新型的实施例，而不应解释为对本实用新型的不当的限制。为了更清楚起见，图中所示尺寸并未按比例绘制，可能会作放大、缩小或其他改变。