[实用新型]一种石墨热场护盘压片有效
| 申请号： | 201220569752.6 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202881442U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 付雁清;周俭;李德建;陈昌林;陈建春 | 申请（专利权）人： | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 另婧 |
| 地址： | 200062 上海市普陀区绿*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 热场护盘 压片 | ||
1.一种石墨热场护盘压片，设置在石墨热场炉体底部，其特征在于：包括下护盘压片（1）和护盘压片上盖（2），护盘压片上盖（2）为有一定容积的下端开口的结构，护盘压片上盖（2）的下沿与下护盘压片（1）的上表面固定连接，在护盘压片上盖（2）与下护盘压片（1）之间形成一个可放置隔热材料的空腔，护盘压片上设置有供坩埚托杆（1-13）和托杆护套（1-10）通过的圆孔。
2.根据权利要求1所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的下护盘压片（1）与护盘压片上盖（2）之间为凹凸卡接连接。
3.根据权利要求2所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的下护盘压片（1）的上表面上设置有一圈直角型的凹槽（3），护盘压片上盖（2）的下沿（5）嵌入凹槽（3）内，凹槽（3）的形状与护盘压片上盖（2）的下沿（5）相匹配，凹槽（3）的宽度与护盘压片上盖（2）的下沿（5）的厚度相匹配。
4.根据权利要求3所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的下护盘压片（1）为外轮廓为圆形的平板状结构，其中心位置设置有供坩埚托杆（1-13）和托杆护套（1-10）通过的圆孔（11）。
5.根据权利要求2所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的护盘压片上盖（2）是中空的环状柱体结构，其顶部沿垂直于柱体轴线方向向内延伸形成上盖顶，护盘压片上盖（2）的直径与凹槽（3）直径相匹配。
6.根据权利要求5所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的护盘压片上盖（2）的上盖顶设置有供坩埚托杆（1-13）和托杆护套（1-10）通过的圆孔（21），且与下护盘压片（1）中心位置的圆孔（11）等直径，两个圆孔同轴。
7.根据权利要求6所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的护盘压片上盖（2）的下沿（5）嵌入下护盘压片（1）上表面的凹槽（3）中，与下护盘压片（1）卡接。
8.根据权利要求1所述的石墨热场护盘压片，其特征在于：所述的护盘压片上盖（2）与下护盘压片（1）之间的空腔内放置多层软质的或者是固化的隔热材料。
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