[实用新型]光学检测用四维调整台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光学检测用多维调整平台。

背景技术

在光学检测与装调过程中，经常会用到各种位姿调整机构，如平移台、升降台、旋转台、角位移台，目前国内外市场上有许多致力于该类产品研发的企业，这些企业的产品种类多、但其多维调整平台大多数台面尺寸较小，难以满足中尺度光学件检测与装调的需要。长期以来，中尺度光学件检测与装调中所用的多维调整台均是由单自由度调节机构通过简单拼接而成，这样虽然勉强满足了工作需要，却带来许多新问题，比如：由于单自由度调节机构的接口形式不同，组合成多自由度调节机构时接口难以匹配；简单拼接而成的多自由度调整平台的稳定性差，特别是在激光干涉法面型检测中由于调节机构抗干扰性差致使干涉条纹抖动，数据采样困难，数据可靠性降低；同时工作效率受到严重影响。

实用新型内容

本实用新型提供一种光学检测用四维调整台，以满足多维度精确调整工作的需求。

为实现以上实用新型目的，本实用新型提供以下技术方案。

光学检测用四维调整台，包括自下而上依次设置的底座、纵向位移台、横向位移台、云台座、云台以及工作台；

所述工作台通过俯仰关节与所述云台连接，俯仰关节采用两个同轴安装的圆柱回转铰链结构实现；在工作台与云台的水平延伸段设置有俯仰角调节机构；

所述云台与横向位移台通过偏摆关节相连，所述偏摆关节由十字交叉圆柱滚子轴承、与轴承外圈相配的轴承安装法兰、与轴承内圈相配的云台座以及起轴向定位作用的上、下压圈组成；所述云台与轴承安装法兰通过止口配合定位并以螺钉固定连接，十字交叉圆柱滚子轴承通过上压圈和下压圈紧定位于其内侧的云台座，云台座与横向位移台通过另一止口定位并以螺钉固定连接；俯仰关节与偏摆关节构成的整体的重心位于工作台的几何中心；在云台与横向位移台的水平延伸段设置有偏摆角调节机构；

在横向位移台与纵向位移台之间两侧设置有横向直线位移关节，在横向位移台与纵向位移台之间中部设置有横向直线位移调节机构；

在纵向位移台与底座之间两侧设置有纵向直线位移关节，在纵向位移台与底座之间中部设置有纵向直线位移调节机构；

所述横向直线位移关节和纵向直线位移关节均采用相匹配的滑块与直线导轨的结构形式，其中，横向直线位移关节的直线导轨与纵向直线位移关节的直线导轨相互垂直，在竖直方向形成矩形框的投影。

基于上述基本技术方案，本实用新型还进行了如下优化限定和改进。

上述俯仰角调节机构包括细牙丝杆螺母副、俯仰螺母安装架和俯仰丝杆顶板；细牙丝杆螺母副的螺母通过俯仰螺母安装架与云台紧固连接，俯仰丝杆顶板与工作台紧固连接，细牙丝杆螺母副中的丝杆的下端安装有俯仰角调节手轮，丝杆的上端为球面，该球面与俯仰丝杆顶板形成高副接触。

在工作台与云台之间在靠近俯仰角调节机构一端设置有拉簧，拉簧两端分别固定连接工作台和云台。

上述偏摆角调节机构包括细牙丝杆螺母副、偏摆螺母安装架、上支架、下支架、偏摆丝杆顶板和复位弹性组件；细牙丝杆螺母副的螺母通过偏摆螺母安装架及下支架与横向位移台紧固连接，偏摆丝杆顶板通过上支架与云台紧固连接，细牙丝杆螺母副中的丝杆的一端安装有偏摆角调节手轮，丝杆的另一端为球面，该球面与偏摆丝杆顶板的一侧形成高副接触，偏摆丝杆顶板的另一侧与复位弹性组件的球面一端形成高副接触；

上述复位弹性组件包括滑套和位于滑套内并自滑套底部依次连接的压簧、滑竿，所述复位弹性组件的球面一端即滑竿朝外的一端，滑套通过滑套安装架最终与横向位移台紧固连接。这样，滑杆在滑套内压簧的作用下在滑套内能够往复滑动。

上述横向直线位移调节机构采用滚珠丝杆螺母副，该滚珠丝杆螺母副端部设置有横向直线位移调节手轮；上述纵向直线位移调节机构采用滚珠丝杆螺母副，该滚珠丝杆螺母副端部设置有纵向直线位移调节手轮。

在上述十字交叉圆柱滚子轴承中，多个圆柱滚子在成90°的V型沟槽滚动面上通过隔离块被相互垂直地排列。所以交叉滚子轴承可承受径向载荷、轴向载荷及力矩负载等多方向的负荷。

上述俯仰关节偏置于工作台长度的五分之四处。

在工作台上设置有用以安装检测支架的的多个通用接口。

本实用新型的光学检测用四维调整台结构简明，能够实现四维调节，俯仰角调节范围：±7°、偏摆角调节范围：±7°、横向直线位移调节范围：±100mm、纵向直线位移调节范围：±100mm；并具有很高的稳定性和调节精度，能够满足光学检测工程的实践需要。

附图说明