[实用新型]具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统

说明书

技术领域

本实用新型属于测量技术领域，具体涉及真空条件下材料放气率的测试系统，用于材料放气率的测试和真空规及质谱计的自校准。 

背景技术

材料放气率是材料在真空状态下的主要特性之一，是研制真空仪器及设备的重要选择依据，对于航空航天、半导体工业、高能物理等应用领域选择合适的材料具有重要的意义。文献“小孔流导法测量材料放气率研究”，《真空》第47卷、2010年第3期、第55～58页”，介绍了小孔流导法测量材料放气率的方法，其测量范围为1×10^-7～1×10^-12Pa m³/(s cm²)。文献“基于双通道方法对不锈钢高温出气性能的研究”《真空科学与技术学报》第31卷，2011年第3期、第368～371页，介绍了双通道方法测量材料放气率的方法。以上文章建立的材料放气率测量系统的特点有，一是采用不锈钢作为样品室，其自身的放气率比较大，致使本底放气影响无法延伸测量下限；二是系统采用的抽气方式获得不了10^-10Pa的极限真空度致使测量下限受限；三是系统不具有自校准功能，因此系统上所接的超高真空规和质谱计测量结果不可靠；四是系统不能测量放气率较大的材料。而当前许多应用领域需要系统的测量范围宽、效率高、具有自校准功能，基于以上需要的系统国内尚属空白。 

实用新型内容

本实用新型针对目前科研生产应用中对材料放气率测试需求，建立宽量程、具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统，要求系统对材料放气量的测量范围，并且对超高真空规和质谱计具有自校准功能，提高测量数据的正确性和可靠性的问题，提供一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统及方法。 

本实用新型提供一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统及 方法，系统复合了累积法、动态流量法及双通路法三种材料放气率测试方法，可测试气体流量范围为1Pam³/s～6×10^-12Pam³/s(若表面积A＝6000cm²，放气率测量下限达1×10^-15Pam³/(s cm²))。累积法的气体流量测量范围为1～5×10^-6Pam³/s(若表面积A＝100cm²，放气率测量上限为1×10^-2Pam³/(s cm²)，若表面积A＝5000cm²，放气率测量下限为1×10^-9Pam³/(s cm²))；动态流量法对气体流量的测量范围为6×10^-6Pam³/s～6×10^-9Pam³/s，(若表面积A＝600cm²，放气率测量上限为1×10^-8Pam³/(s cm²)，若表面积A＝6000cm²，放气率测量下限为1×10^-12Pam³/(s cm²))；双通路法对气体流量的测量范围为6×10^-9Pam³/s～6×10^-12Pam³/s，(若表面积A＝6000cm²，放气率测量上限为1×10^-12Pam³/(s cm²)，若表面积A＝6000cm²，放气率测量下限为1×10^-15Pam³/(s cm²))。 

本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的。 

一种具有自校准功能的复合型材料放气率测试系统，该系统包括：