[实用新型]用于固定长条镜的固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学元器件领域，尤其涉及一种用于固定长条镜的固定装置。

背景技术

精密运动工件台的定位精度，很大程度上取决于位移测量系统的精度。激光干涉仪测量系统的运动工件台，其长条镜表面的面形直接影响着位移的检测精度，进而影响工件台的定位精度。在进行长条镜夹持时，一旦夹持不当，长条镜仍然会不可避免的发生翘曲变形，导致经其镜面折射后的测量光束的光路发生偏差，从而对测量结果的准确性造成严重的影响。此外当测量器件处于频繁振动等测量状况不佳的场合时，如果反射镜夹持的不够牢靠，其长条镜往往就会发生松动移位甚至从其固定支架上掉落，引发光路系统故障，从而极大的影响了测量的效率。

因此，如何固定长条镜减小对其面形的影响，如何提高夹持能力和提高固定长条镜的可靠性，就成为实现工件台高精度定位的重要因素。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提出一种用于固定长条镜的固定装置，提高对长条镜的夹持能力，并且减少长条镜镜面的形变。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种用于固定长条镜的固定装置，包括：

用于安装长条镜的镜座；

簧片调节座，固定在所述镜座上，并与所述长条镜平行设置；

压簧组件，与所述簧片调节座连接，并抵压在所述长条镜上；

具有弹性的固定簧片，与所述长条镜贴合，位于所述长条镜与所述簧片调节座之间；

簧片调节螺钉，穿过所述簧片调节座与所述固定簧片连接。

进一步的，还包括一锁紧螺母，设置在所述簧片调节螺钉的一端，与所述簧片调节螺钉配合锁紧所述长条镜和所述镜座。

进一步的，所述压簧组件包括：

压簧固定座，与所述簧片调节座连接；

压簧，与所述压簧固定座连接并抵压在所述长条镜上。

进一步的，所述压簧固定座通过螺丝与所述簧片调节座连接。

进一步的，所述压簧通过螺丝与所述压簧固定座连接。

进一步的，所述压簧为薄片状。

进一步的，所述镜座包括镜座主体以及沿所述镜座主体的边缘向上延伸的卡位部。

进一步的，所述镜座主体上开设有若干通孔。

进一步的，所述簧片调节座通过螺丝固定在所述镜座上。

进一步的，所述固定簧片为半圆弧型簧片。

进一步的，所述固定簧片设有调节螺钉定位的定位孔。

进一步的，所述簧片调节螺钉伸入所述定位孔内与所述固定簧片连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在：添加压簧组件和固定簧片，用来增加对长条镜固定的稳定性，从而防止长条镜在运动过程中脱落；此外，由于固定簧片具有一定的弹性，从而补偿长条镜的面形误差及温度变化引起的形变，进而降低整个装置测量结果的误差。

附图说明

图1为本实用新型中用于固定长条镜的固定装置的结构示意图；

图2为本实用新型中用于固定长条镜的固定装置的左视图；

图3为本实用新型中用于固定长条镜的固定装置的俯视图；

图4为本实用新型中长条镜的仰视图。

具体实施方式

为了便于更好的理解本实用新型，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的描述。

请参考图1及图3，本实用新型提出一种用于固定长条镜的固定装置，包括：

用于安装长条镜的镜座10，所述镜座10包括镜座主体11以及沿所述镜座主体11的边缘向上延伸的卡位部12，所述镜座主体11的一表面为定位面11’，所述卡位部12的一表面为卡位面12’，所述定位面11’与所述卡位面12’垂直相交。长条镜20安装在所述定位面11’上，并与所述卡位面12’紧贴，使长条镜20很好的固定在所述镜座10上。所述镜座主体11上开设有若干通孔13。

簧片调节座30，设有若干螺孔，所述簧片调节座30通过螺丝固定在所述镜座10的定位面11’上，并与所述长条镜20平行设置。

压簧组件40，包括压簧固定座41和压簧42，所述压簧固定座41通过螺丝固定在所述簧片调节座30的顶部上；所述压簧42通过螺丝固定与所述压簧固定座41，并安装在所述长条镜20的顶部，所述压簧42为薄片状。

固定簧片60，为具有弹性的簧片，与所述长条镜20贴合，位于所述长条镜20与所述簧片调节座30之间。

所述用于固定长条镜的固定装置还包括一锁紧螺母50，设置在所述簧片调节螺钉70的一端，与所述簧片调节螺钉70配合锁紧所述长条镜20和所述镜座10。