[实用新型]用于加工单晶棒主参考标记的加工装置有效
| 申请号： | 201220584829.7 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202964347U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 朱德富 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 加工 单晶棒主 参考 标记 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，包括滚磨机，滚磨机设置有磨头，其特征在于，所述滚磨机还包括可同步旋转的涡轮和蜗杆；所述涡轮安装于所述蜗杆上；蜗杆贯穿涡轮；滚磨机还包括与蜗杆相配合夹持单晶棒的尾架。
2.根据权利要求1所述的用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，其特征在于，所述蜗杆上安装有编码器。
3.根据权利要求2所述的用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，其特征在于，所述编码器包括壳体和转轴；所述壳体安装于支架上，所述转轴与所述蜗杆连接。
4.根据权利要求1所述的用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，其特征在于，还包括X光定向仪；所述X光定向仪包括向单晶棒发射X光线的发射器，及接收经单晶棒发射的X光线的接收器。
5.根据权利要求4所述的用于加工单晶棒主参考标记的加工装置，其特征在于，所述的发射器及接收器均位于单晶棒上方。
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