[实用新型]硅单晶生长尾气排放用过滤筒有效
| 申请号： | 201220585217.X | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202962167U | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 韩建超;袁美君 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅单晶 生长 尾气 排放 过滤 | ||
【权利要求书】：
1.硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，包括圆柱形筒体，所述筒体设置有内腔，所述筒体设置有允许废气进入内腔的第一通孔，所述第一通孔与内腔连通；所述内腔内设置有圆柱形滤芯。
2.根据权利要求1所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述滤芯与筒体同轴设置。
3.根据权利要求1或2所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述的筒体内设置有一个滤芯。
4.根据权利要求1所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述第一通孔在筒体内壁处的轴线与所述的滤芯径向具有夹角α，所述夹角α为锐角。
5.根据权利要求4所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述夹角α为60°至80°。
6.根据权利要求1所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述筒体设置有允许经滤芯过滤后的废气排出内腔的第二通孔，所述滤芯覆盖所述第二通孔。
7.根据权利要求1所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述第一通孔朝向使得所述废气经第一通孔进入内腔的流向与所述滤芯相切。
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