[实用新型]一种多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置

权利要求书

1.一种多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置，其特征在于：该多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置采用特种多功能多结构适应型离子镀枪配合结构优化的水冷法兰套作为整体弧源结构，法兰套的外侧设有法兰套绝缘套，法兰套绝缘套的外侧设有二极旋转横向磁场发生装置；

通过所述磁场装置的耦合作用形成二极旋转横向磁场为主的其他磁场耦合的多型复合磁场；法兰套中设有法兰套冷却水通道，法兰套底部开有与冷却水通道相通的法兰套出水口、法兰套进水口，法兰套冷却水通道的一端设置环形法兰盘，法兰盘边缘开有法兰连接孔；

离子镀枪设有靶材、靶材底座、靶材屏蔽罩、冷却水进水管道、导磁环、靶材底柱、靶材底柱绝缘套、离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板、冷却水通道底座，靶材安装在靶材底座上，靶材的外侧设置靶材屏蔽罩，靶材底部与靶材底座冷却铜板紧密接触，通过靶材底座冷却铜板间接冷却；靶材底柱的内侧设置永磁体或导磁环和冷却水进水管道，永磁体或导磁环设置于冷却水进水管道的外侧；靶材底座中设置有靶材底座冷却通道隔板，靶材底座冷却通道隔板将靶材底座中的空腔分成靶材底座冷却水上通道和靶材底座冷却水下通道，靶材底座冷却通道隔板通过中间的圆孔焊接在与冷却水进水管道连通的靶材底座冷却水进水管上；靶材底座通过靶材底座盘安装在靶材底柱上，靶材底柱底部安装冷却水通道底座，靶材底柱的一端与冷却水通道底座连接，冷却水进水管道伸至冷却水通道底座中，与冷却水通道底座的进水口相通，冷却水通道底座与靶材底柱之间的通道与出水口相通；靶材底柱的另一端，通过靶材底柱连接管与靶材底座的靶材底座冷却水下通道相通；

靶材底柱的外侧设置靶材底柱绝缘套，靶材底柱绝缘套的外侧设置离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘、离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘的一侧设置离子镀枪底盘紧固板，离子镀枪底盘紧固板通过靶材底柱绝缘套上的绝缘套盘与离子镀枪底盘隔开，离子镀枪底盘的另一侧设置离子镀枪底盘绝缘盘，电源接头端子安装在靶材底柱上；

离子镀枪底盘通过离子镀枪底盘绝缘盘、离子镀枪底盘紧固板、靶材底柱绝缘套与靶材底柱安装，离子镀枪通过离子镀枪底盘的安装孔与法兰套底部螺纹孔连接安装形成整体离子镀弧源结构，离子镀枪通过法兰套前部的法兰盘与炉体进行连接。

2.按照权利要求1所述的多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置，其特征在于：多型复合磁场是二极旋转横向磁场为主，与其他磁场耦合的多种复合磁场之一：

（1）由单独二极旋转横向磁场控制弧斑运动形成单型复合磁场；

（2）由二极旋转横向磁场耦合靶材背面轴向辅助磁场形成两型复合磁场；

（3）由二极旋转横向磁场耦合法兰端部聚焦导引磁场形成两型复合磁场；

（4）由二极旋转横向磁场耦合靶材背面轴向辅助磁场及法兰端部聚焦导引磁场形成三型复合磁场。

3.按照权利要求1所述的多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置，其特征在于：二极横向旋转磁场发生装置、聚焦导引磁场发生装置围套在法兰套外，与靶材同轴放置，与法兰套之间通过法兰套绝缘套保护；二极横向旋转磁场发生装置放置于靶材周围，其中心高于靶材表面，位置可移动；聚焦导引磁场发生装置放置于二极横向旋转磁场发生装置前端，底部安装同轴磁轭；法兰套外围通过屏蔽罩对内部的磁场发生装置进行保护。

4.按照权利要求1所述的多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置，其特征在于：二极横向旋转磁场发生装置由多磁极铁芯骨架及漆包线绕组线圈组成，铁芯由磁导率高、厚0.35-0.5mm的环形硅钢片叠压而成，铁芯内圆开有嵌放绕组线圈的槽，槽形有开口、半开口或半闭口形式，槽数有24、36、48、54或72，铁芯内径按法兰套尺寸选择，大于法兰套外径，铁芯外径根据标准选择，通过法兰套绝缘套围套在法兰套上；硅钢片的表面涂有绝缘漆，铁芯材料采用冷轧或热轧硅钢或者采用非晶导磁材料；

二极横向旋转磁场发生装置的漆包线绕组线圈采用聚氨酯漆包铜线或者铝线绕制，按二极磁场规律连接成对称的三相绕制；绕组的连接方式有单层、双层或单双层混合，绕组端部的接线方式采用叠式或者波式，绕组的端部形状采用链式、交叉式、同心式或叠式；绕组采用相位差为120°的三相变频正弦交流电源激励，电流频率和电压单独调节，通过电压调节二极横向旋转磁场的强度，通过电流频率调节二极横向旋转磁场的旋转速度。