[实用新型]一种用于酸性铜蚀刻废液回收再利用工艺设备系统

权利要求书

1.一种用于酸性铜蚀刻废液回收再利用工艺设备系统，其特征在于，该系统包含：

废液储存装置（1），

与废液储存装置（1）通过管道连通的反应釜（20）；

分别与废液储存装置（1）、反应釜（20）连接的第一耐腐蚀泵（10），通过该第一耐腐蚀泵（10）将待处理酸性铜蚀刻废液从废液储存装置（1）泵入到反应釜（20）中进行反应处理；

与所述反应釜（20）连接的过滤设备（40），经在反应釜（20）中反应完毕的溶液转入到过滤设备（40）进行过滤处理；

与过滤设备（40）通过管道连通的通氯塔（70）；

分别与过滤设备（40）、通氯塔（70）连接的第二耐腐蚀泵（60），通过第二耐腐蚀泵（60）将该过滤设备（40）中的液体泵入到通氯塔（70）中；及

设置在通氯塔（70）底部的三氯化铁溶液接收装置（3）；

其中，所述的通氯塔（70）顶部连接尾气处理系统（2），该通氯塔（70）上部设置有第一入口（71），该通氯塔（70）下部设置有第二入口（72），该第一入口（71）与过滤设备（40）连通，该第二入口（72）连接氯气管道。

2.如权利要求1所述的用于酸性铜蚀刻废液回收再利用工艺设备系统，其特征在于，该系统还包含干燥设备（50），用于干燥经过滤设备（40）处理后的固体物质。

3.如权利要求2所述的用于酸性铜蚀刻废液回收再利用工艺设备系统，其特征在于，所述的干燥设备（50）为真空干燥机。

4.如权利要求1所述的用于酸性铜蚀刻废液回收再利用工艺设备系统，其特征在于，所述的反应釜（20）中还设置有搅拌装置（30）。

5.如权利要求1所述的用于酸性铜蚀刻废液回收再利用工艺设备系统，其特征在于，所述的过滤设备（40）为板框式压滤机。