[实用新型]冷氢化电加热器在线清洗装置

权利要求书

1.一种冷氢化电加热器在线清洗装置，用于在制备三氯氢硅的冷氢化系统中在线地去除电加热器中的无定型硅，所述冷氢化系统包括：

氢气供给管道；

四氯化硅供给管道；

分别与氢气供给管道和四氯化硅供给管道连接的四氯化硅汽化器；

具有进气口和出气口的电加热器，所述电加热器与四氯化硅汽化器连接，所述电加热器具有温度变送器和功率调控器，其中温度变送器实时采集电加热器进气口和出气口处的温度信号并将采集的温度信号传送至功率调节器，功率调节器根据所述温度信号控制加热功率，使得出气口处的温度为预设温度；

与电加热器连接的氢化反应器；

与氢化反应器连接的洗涤系统；

与洗涤系统连接的冷凝系统；以及

与冷凝系统连接的循环压缩机，所述循环压缩机与四氯化硅汽化器连接，其特征在于，

对所述电加热器进行在线清洗的装置包括：

与电加热器连接的氯化氢供料系统，用于向电加热器中提供与无定型硅反应的氯化氢。

2.根据权利要求1所述的冷氢化电加热器在线清洗装置，其特征在于，所述氯化氢供料系统包括：

氯化氢储罐；

与氯化氢储罐连接的进气缓冲罐；

与进气缓冲罐连接的氯化氢压缩机；

与氯化氢压缩机连接的出气缓冲罐，

所述出气缓冲罐与冷氢化系统中的电加热器连接。