[实用新型]一种石英晶片腐蚀机

权利要求书

1.一种石英晶片腐蚀机，包括箱体，箱体内设有腐蚀液池和清洗池，其特征在于：在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构，所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂，支臂上端通过转轴连接有横梁，横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架，所述的横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连，从动齿轮与清洗架相接；

在腐蚀液池和清洗池上方分别设有腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头，腐蚀液喷淋头通过腐蚀液管路与腐蚀液池连接，腐蚀液管路上设有腐蚀液喷淋泵，清洗液喷淋头通过清洗液管路与清洗池相连，清洗管路上设有清洗液喷淋泵。

2.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的箱体外设有腐蚀液储存池，腐蚀液储存池与腐蚀液池之间设有腐蚀液循环管路，循环管路上设有循环泵。

3.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的腐蚀液池的底部设有腐蚀液加热装置。

4.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的腐蚀液池下方设有与腐蚀液池连通的搅拌泵。

5.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的箱体上设有操作窗口，操作窗口上设有观察玻璃窗。

6.根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于：所述的箱体的顶部设有抽风口，抽风口通过抽风管与箱体外的抽风机连接。