[实用新型]具有排水结构的光罩盒有效
申请号: | 201220608737.8 | 申请日: | 2012-11-08 |
公开(公告)号: | CN203127494U | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 古震维;吕保仪;林志铭;盛剑平 | 申请(专利权)人: | 家登精密工业股份有限公司 |
主分类号: | B65D85/38 | 分类号: | B65D85/38 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 排水 结构 光罩盒 | ||
技术领域
本实用新型是有关于一种光罩盒,特别是有关于一种具有排水结构的光罩盒。
背景技术
近代半导体科技发展迅速,其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色,只要是关于图形(Pattern)定义,皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上,是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(Photo Mask or Reticle)。利用曝光原理,则光源通过光罩投影至硅片(Silicon Wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化,用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净,因此在一般的硅片工艺中,都提供无尘室(Clean Room)的环境以避免空气中的颗粒污染。
而近年来为了生产更小的芯片,微影设备已开始使用波长为157nm的极紫外光(Extreme Ultraviolet Light,EUV),以便使光罩上的图形(Pattern)复制于硅片表面时能达到更小的分辨率。然而,使用深紫外光时,相对地,对于光罩盒的洁净要求更加提高。以往光罩盒内的微粒(Particle)若小于30微米是可接受的,但用于极紫外光的光罩盒则必须要将微粒(Particle)大小控制在30~50纳米以下。
因此,现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩存放装置进行光罩的保存与运输,以使光罩保持洁净;也利用抗污染的半导体组件存放装置进行半导体组件的保存与运输,以使半导体组件保持洁净。光罩存放装置是在半导体工艺中用于存放光罩,以利光罩在机台之间的搬运与传送,并隔绝光罩与大气的接触,避免光罩被粒子与化学气体污染而产生光罩表面雾化。因此,在先进的半导体厂中,通常会要求该种用以存放半导体组件或光罩的存放装置的洁净度要符合机械标准接口(Standard Mechanical Interface;SMIF),也就是说保持洁净度在Class 1以下。
为了减少光罩于储存、制造、运输期间被污染,公知技术已发展出一种以双层容器来将光罩隔绝的技术,是以一内部容器来承载光罩,并再以一外部容 器将内部容器固定于其中的光罩盒。如图8所示,由一内部容器的下盖c与内部容器的上盖d将光罩e盖合并固定于其中,之后再以一外部容器的下盖a与外部容器的上盖b将内部容器盖合并固定于其中。在双层容器的光罩盒结构在清洗时,由外部容器的底部周边并未设计排水孔,因此在清洗时,容易导致水份无法顺利清除,导致水渍或其它污染物的残留,进而导致污染光罩的机率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有排水结构的光罩盒,以解决公知技术中存在的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供的光罩盒,其包括:
一外盒,包括:
一外盒下盖,具有一第一内表面及与该第一内表面连接的四周边,且该第一内表面上具有多个第一支撑件,在该外盒下盖上配置多个排水孔;
一外盒上盖,具有一第二内表面,且该第二内表面上形成有多个第二支撑件,且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时,该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间;
一内盒,包括:
一内盒下盖,配置于该第一容置空间内并与该多个第一支撑件接触,且该内盒下盖具有一内盒第一内表面;及
一内盒上盖,位于该第一容置空间内,其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面,且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时,该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置一光罩;
多个贯穿孔,形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间;及
多个固持件,配置于每一该贯穿孔中,其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应。
所述的光罩盒,其中,该内盒上盖的该内盒上盖外表面配置多个第一固定件,该多个第一固定件分别覆盖该多个贯穿孔,并用以固定该固持件,该第一固定件是以螺丝锁固于该内盒上盖,该固持件的材质为一耐磨的高分子材料。
所述的光罩盒,其中,该内盒上盖的该内盒上盖外表面具有至少一过滤孔,且配置至少一过滤装置于该过滤孔上,其中该过滤装置包括:
一过滤材质,配置于该过滤孔上;及
一第二固定件,配置于该内盒上盖外表面,并覆盖该过滤孔,用以固定该过滤材质于该过滤孔,该第二固定件是以螺丝锁固于该内盒上盖外表面;
其中,该过滤材质为一多孔性过滤膜。
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