[实用新型]一种压力传感器有效

专利信息
申请号: 201220615096.9 申请日: 2012-11-19
公开(公告)号: CN203053627U 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 袁晓斌;陈龙;张妮妮;刘秀娥 申请(专利权)人: 西安微纳传感器研究所有限公司
主分类号: G01L9/04 分类号: G01L9/04;G01L1/22
代理公司: 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 代理人: 申美鹃
地址: 710054 陕西省西安市雁塔区*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 压力传感器
【权利要求书】:

1.一种压力传感器,其特征在于,包括金属套管(B)以及套在金属套管(B)内的芯体(A),所述芯体(A)与金属套管(B)的连接部分设有螺纹,芯体(A)与金属套管(B)通过螺纹加激光焊接的方式连接在一起。

2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述芯体(A)包括圆柱状的壳体(1),在所述壳体(1)的上端设置有水平凹槽(4),所述水平凹槽(4)内焊接有SOI芯片(2)。

3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述壳体(1)内设置有引线电极,所述SOI芯片(2)的压焊点电极通过金丝(3)与壳体(1)的引线电极连接。

4.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述壳体(1)的下部设置有环形凹槽(5)。

5.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述金属套管(B)的一端设置有外螺纹(E),金属套管(B)中部通过套设并固定有螺母(D)。

6.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述芯体(A)的内引线(8)通过夹具(7)连接至外引线(9)。

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