[实用新型]一种压力传感器有效
申请号: | 201220615096.9 | 申请日: | 2012-11-19 |
公开(公告)号: | CN203053627U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 袁晓斌;陈龙;张妮妮;刘秀娥 | 申请(专利权)人: | 西安微纳传感器研究所有限公司 |
主分类号: | G01L9/04 | 分类号: | G01L9/04;G01L1/22 |
代理公司: | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人: | 申美鹃 |
地址: | 710054 陕西省西安市雁塔区*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,其特征在于,包括金属套管(B)以及套在金属套管(B)内的芯体(A),所述芯体(A)与金属套管(B)的连接部分设有螺纹,芯体(A)与金属套管(B)通过螺纹加激光焊接的方式连接在一起。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述芯体(A)包括圆柱状的壳体(1),在所述壳体(1)的上端设置有水平凹槽(4),所述水平凹槽(4)内焊接有SOI芯片(2)。
3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述壳体(1)内设置有引线电极,所述SOI芯片(2)的压焊点电极通过金丝(3)与壳体(1)的引线电极连接。
4.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述壳体(1)的下部设置有环形凹槽(5)。
5.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述金属套管(B)的一端设置有外螺纹(E),金属套管(B)中部通过套设并固定有螺母(D)。
6.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述芯体(A)的内引线(8)通过夹具(7)连接至外引线(9)。
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