[实用新型]同轴光源装置

说明书

技术领域

本实用新型是一种同轴光源装置，特别是一种可旋转调整的同轴光源装置。

背景技术

随着科技的进步以及知识的进展，半导体或是面板等等科技产业亦发展迅速，而如何提升产品合格率，亦是每家厂商所关心的议题，无论是材料或是制程，甚或是检验，在每个过程中皆是环环相扣，而为了检测出人眼难以窥见的缺陷，通常需要较为精密的检测仪器协助检测。

目前科技厂商在进行检测时，大多数都是以同轴光源作为检测的用，基此，同轴光源内部所装设的光学镜片，是通过维持一固定角度，例如，目前业界所用的角度皆为45度角，而用以反射光源照射。由于光学镜片如以固定角度设置，其无法由其它角度照射检测，以至于无法检测是否有其它直射角度所看不见的瑕疵，因此，以已知的同轴光源检测时，难以作全面的检测。

再者，已知的同轴光源于光源照射时，因光学镜片角度固定，因此，亦会造成多数的照射光源浪费，仅部分光源照射至所欲检测的地方。此外，已知检测亦容易有打光不足的现象，如要增加光源亮度，常需再增加额外光源。

因此，如何改良同轴光源装置，使得其光源打光能以不同角度检测，并达到节省光源的目的，为本案的发明人以及从事此相关行业的技术人员亟欲改善的课题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种同轴光源装置，其光源打光能以不同角度检测，并达到节省光源的目的。

为解决上述技术问题，本实用新型同轴光源装置，用于反射一光束至一待测物，其包含：

一本体，包含一入光面、一顶面及一底面；

一光源单体，位于该本体内，用以发射该光束；

一第一光学镜片，可转动地设置于该本体内，且邻近于该顶面而与该顶面夹一第一夹角，用以反射该光束至该待测物；及

一第二光学镜片，可转动地设置于该本体内并与该第一光学镜片之间呈一间距，且邻近于该底面而与该底面夹一第二夹角，用以反射该光束至该待测物； 

其中，该光束经由该入光面入射，分别转动该第一光学镜片与该第二光学镜片，使投射至该第一光学镜片与该第二光学镜片上的该光束进行一次反射后，由该底面射出并朝该待测物行进。

该第一光学镜片往一第一方向转动后，该第一夹角小于45度，且该第二光学镜片往一第二方向转动后，该第二夹角大于45度。

该第一光学镜片往一第一方向转动后，该第一夹角介于45~90度之间，且该第二光学镜片往一第二方向转动后，该第二夹角介于0~45度之间。

该本体更包含一第一转轴及一第二转轴，该第一转轴用以连接并转动该第一光学镜片，且该第二转轴用以连接并转动该第二光学镜片。

该本体更包含一第一滑槽及一第二滑槽，该第一滑槽用以设置该第一转轴，使该第一转轴沿该第一滑槽位移，且该第二滑槽用以设置该第二转轴，使该第二转轴沿该第二滑槽位移。

该第一转轴更包含一第一夹槽，用以挟持该第一光学镜片，且该第二转轴更包含一第二夹槽，用以挟持该第二光学镜片。

该第一光学镜片与该第二光学镜片为一分光镜或一反射镜。

所述的同轴光源装置更包含两偏光镜，分别平行该第一光学镜片与该第二光学镜片，而设置于该第一光学镜片与该第二光学镜片上，使该光束先投射至该偏光镜后，再行进至该第一光学镜片与该第二光学镜片。

所述的同轴光源装置更包含一第三光学镜片，设置于该间距，而位于该第一光学镜片与该第二光学镜片之间，用以反射该光束。该第三光学镜片为一分光镜。

本实用新型亦提出一种光学影像检测装置，包含：一载台，用以承载待测物；一同轴光源装置，设置于待测物的一侧，包含：一本体，包含一入光面、一顶面及一底面；一光源单体，位于该本体内，用以发射光束；一第一光学镜片，可转动地设置于该本体内，且邻近于顶面而与顶面夹一第一夹角，用以反射光束至该待测物；及一第二光学镜片，可转动地设置于该本体内并与该第一光学镜片的间呈一间距，且邻近于该底面而与该底面夹一第二夹角，用以反射光束至该待测物；及一影像感测组件，设置于该待测物的一侧，用以取得该待测物的一影像；其中，该光束经由该入光面入射，分别转动该第一光学镜片与该第二光学镜片，使投射至该第一光学镜片与该第二光学镜片上的光束进行一次反射后，由该底面射出并朝该待测物行进，使该影像感测组件经由该间距取得该待测物的影像。