[实用新型]测量固体热物性参数的光学系统

权利要求书

1.一种测量固体热物性参数的光学系统，其特征在于，包括： 

产生频率调制连续偏振加热激光的加热激光产生组件； 

产生连续偏振探测激光的探测激光产生组件； 

将加热激光和探测激光合束为位于A平面合束激光的合束元件； 

将偏振方向在A平面的合束激光成分透射至样品测试组件及偏振方向垂直于该A平面的合束激光成分反射至加热激光接收组件，并将由样品测试组件投射的被测试样品表面反射的加热激光及调制后的探测激光的合束激光反射至探测激光接收组件的分光元件； 

将偏振方向在A平面的合束光成分透射至被测试样品表面，将被测试样品表面反射的加热激光及调制后的探测激光的合束激光透射至分光元件的样品测试组件； 

将入射合束激光中的加热激光成分滤除后，得到探测激光的信号的探测激光接收组件；以及 

将入射合束激光中的探测激光成分滤除后，得到加热激光的信号的加热激光接收组件。 

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述合束元件为对于与其所在平面成45°角入射的加热激光全透射；对于与其所在平面成45°角入射探测激光全反射，从而实现加热激光和探测激光合束为位于A平面合束激光的冷光镜。 

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，所述加热激光产生组件包括： 

信号调制器； 

在信号调制器的调制下，输出连续偏振激光的第一激光器； 

第一波片，为二分之一波片；以及 

将入射的加入激光偏转90°后，以45°角入射合束元件的第一激光反射镜，其反射面与透过第一波片的加热激光成45°角。 

4.根据权利要求3所述的光学系统，其特征在于，所述信号调制器的调制频率介于50kHz到20MHz之间。 

5.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，所述探测激光产生组件包括： 

输出连续偏振的探测激光的第二激光器； 

第二波片，为二分之一波片；以及 

将入射的探测激光偏转90°后，以45°角入射合束元件的第二激光反射镜，其反射面与透过第二波片的探测激光成45°角的第二激光反射镜。 

6.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述分光元件为分光棱镜。 

7.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述样品测试组件包括： 

对经过其的合束激光的偏振方向改变45°的四分之一波片；以及 

将经过四分之一波片的偏振方向在A平面的合束光成分聚焦至被测样品，并将由被测试样品表面反射的加热激光及调制后的探测激光的合束激光重新透射至所述四分之一波片的物镜。 

8.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述加热激光接收组件包括： 

滤除入射合束激光中的探测激光成分的第一滤光片；以及 

检测合束激光中加热激光的信号的第一光电探测器。 

9.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，所述探测激光接收组件包括： 

滤除入射合束激光中的加热激光成分的第二滤光片；以及 

检测合束激光中探测激光的信号的第二光电探测器。 

10.根据权利要求9所述的光学系统，其特征在于，所述探测激光接收组件还包括： 

对入射的合束激光进行聚焦的，位于所述第二滤光片的光路之前的聚焦镜。