[实用新型]加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机

权利要求书

1.一种加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，它是由炉体上盖部分、可开合炉体部分、炉体下座部分、液压控制轨道车部分组成；其特征在于：炉体上盖部分与可开合炉体部分的连接是炉体上盖部分的炉盖（1）通过其孔、炉盖密封圈（41）用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇（21）和炉体右扇（22）的半圆连板（25）连接；炉体上盖部分与炉体下座部分的连接是炉体上盖部分的靶芯（8）和工件（9）分别与炉体下座部分的连接轴（38）和紧固螺栓（35）连接；炉体下座部分与可开合炉体部分的连接是炉体下座部分的炉底盘（34）通过其孔和底盘密封圈（44）用螺栓与可开合炉体部分的炉体左扇（21）和炉体右扇（22）的半圆连板（25）连接；可开合炉体部分与液压控制轨道车部分的连接是液压控制轨道车部分的液压机械抓手（15）与可开合炉体部分的炉体左扇（21）连接。

2.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于：所述的炉体上盖部分是由炉盖（1）、球座（2）、定位球体（3）、靶芯紧固螺母（4）、悬挂吊筒（5）、连杆（6）、连接圈（7）、靶芯（8）、工件（9）、T型密封圈（42）、梯形密封圈（43）、吊装架（51）、冷却进水管（53）构成，在炉盖（1）上分别连接有冷却进水管（53）和吊装架（51），在炉盖（1）的中心孔上通过梯形密封圈（43）连接悬挂吊筒（5），悬挂吊筒（5）下端通过连杆（6）和连接圈（7）连接有工件（9），悬挂吊筒（5）的上端与靶芯（8）的凸肩连接，靶芯（8）的凸肩上端依次连接定位球体（3）和T型密封圈（42）并通过靶芯（8）上端螺纹连接有靶芯紧固螺母（4），在悬挂吊筒（5）外周连接的定位球体（3）和炉盖（1）之间连接有球座（2）。

3.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于：所述的可开合炉体部分是由多节炉体左扇（21）和多节炉体右扇（22）连接构成，多节炉体左扇（21）和多节炉体右扇（22）自身相互连接是通过其半圆连板（25）上的连接螺孔（27）和半圆密封垫（45）用螺栓连接起来，连接后的多节炉体左扇（21）和多节炉体右扇（22）的可开合连接是通过其连接立板（26）上的开口连接孔（29）和密封条（46）用螺栓连接起来;所述的炉体左扇（21）与炉体右扇（22）结构相同，是由内壁（23）、外壁（24）、半圆连板（25）、连接立板（26）构成，内壁（23）和外壁（24）的上下端分别连接半圆连板（25），封口端连接有连接立板（26），在半圆连板（25）上外圈设有连接螺孔（27），内圈设有冷却水通孔（28），在连接立板（26）上设有开口连接孔（29）。

4.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于：所述的炉体下座部分是由变速箱（31）、小伞齿轮（32）、大伞齿轮（33）、炉底盘（34）、紧固螺栓（35）、支板（36）、圆转盘（37）、连接轴（38）、推力轴承（39）、梯形密封圈（43）、炉体支脚（52）、出水管（54）构成，在炉底盘（34）的下端分别连接有炉体支脚（52）和出水管（54），在炉底盘（34）的中心孔通过梯形密封圈（43）连接有连接轴（38），连接轴（38）下端通过大伞齿轮（33）和小伞齿轮（32）与变速箱（31）连接，连接轴（38）上端凹孔与靶芯（8）连接，连接轴（38）上端面与圆转盘（37）连接，在炉底盘（34）上面与圆转盘（37）之间通过连接轴（38）连接有推力轴承（39），在圆转盘（37）上通过支板（36）连接有紧固螺栓（35）。

5.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于：所述的液压控制轨道车部分是由轨道（11）、轨道轮（12）、轨道车（13）、液压控制机构（14）、液压机械抓手（15）构成，在轨道车（13）下端连接轨道轮（12），轨道轮（12）与轨道（11）连接，在轨道车（13）内设有液压控制机构（14），液压控制机构（14）连接有液压机械抓手（15）。

6.根据权利要求1所述的加长型多功能液压控制真空溅射离子注入机，其特征在于：所述的炉盖（1）和炉底盘（34）结构相同，均为空心结构并设有进水孔和出水孔。