[实用新型]一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪

权利要求书

1.一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，其特征在于设有微波系统、固体激光器、信号发生器和相移检测电路；

微波系统设有压控振荡器、衰减器、谐振腔和检波器，压控振荡器输出端接衰减器输入端，衰减器输出端接谐振腔输入端，在谐振腔端盖上设有对称的LC谐振式孔缝，谐振腔输出端接检波器输入端，检波器信号输出端接相移检测电路；

固体激光器设于所述谐振腔下方，固体激光器的激光光路对准所述LC谐振式孔缝；信号发生器的信号输出端分别接固体激光器调制信号输入端和相移检测电路的信号输入端；

相移检测电路设有调制信号检测电路、光电导信号检测电路、矩形波生成电路、脉宽检测电路和微处理器；

调制信号检测电路和光电导信号检测电路通过信号选择开关分别连接，调制信号检测电路设有依次连接的微分电路、过零方波转换电路、相移电路和分频电路；光电导信号检测电路设有依次连接的放大电路、微分电路、过零方波转换电路、相移电路和分频电路；放大电路的输入端通过信号选择开关分别与调制信号检测电路和光电导信号检测电路连接；调制信号检测电路的分频电路输出端接入矩形波生成电路输入端，光电导信号检测电路的分频电路的输出端也接入矩形波生成电路输入端，矩形波生成电路输出端接脉宽检测电路输入端，脉宽检测电路输出端接微处理器读取信号输入端，微处理器控制信号输出端分别接所述调制信号检测电路中的相移电路和分频电路的控制信号输入端，微处理器控制信号输出端分别接所述光电导信号检测电路中的放大电路、相移电路和分频电路的控制信号输入端。

2.如权利要求1所述的一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，其特征在于所述检波器采用晶体二极管检波器。

3.如权利要求1所述的一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，其特征在于所述信号发生器采用通用信号发生器。

4.如权利要求1所述的一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，其特征在于所述脉宽检测电路直接采用单片机中的定时器电路。

5.如权利要求1所述的一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，其特征在于所述相移检测电路设有单独的壳体，相移检测电路安装于壳体中，壳体的前面板设有电源开关、数字显示屏、调制信号输入接头、光电导信号输入接头及键盘；所述调制信号输入接头通过信号线接与所述信号发生器的信号输出端连接，该信号发生器的信号输出端输出调制信号；所述光电导信号输入接头与所述检波器的信号输出端连接，该检波器的信号输出端输出光电导信号；所述键盘包含复位、功能选择及数字输入按键。