[实用新型]一种单晶炉石英加料装置有效
申请号: | 201220623996.8 | 申请日: | 2012-11-23 |
公开(公告)号: | CN202925152U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 赵纪平;余俊军;方强 | 申请(专利权)人: | 万向硅峰电子股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人: | 林蜀 |
地址: | 324300 浙江省衢*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 石英 加料 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉石英加料装置。
背景技术
目前,单晶炉加料通常采用金属容器,采用金属容器加料虽然快捷简便,但最大的缺点是会造成单晶的金属污染,严重影响单晶内在质量。
发明内容
本实用新型的目的是提供能加快加料速度,提高工作效率、提高单晶质量的一种单晶炉石英加料装置。
本实用新型采取的技术方案是:一种单晶炉石英加料装置,其特征在于它包括活动套杆、支架、加料筒和锥体,支架横架在加料筒上,活动套杆位于加料筒中且设置在支架上,活动套杆的下端连接有锥体,锥体的底面直径大于或等于加料筒的直径。
采用本实用新型,可以通过活动套杆和支架将该装置临时吊装在单晶炉中,直接在单晶炉高温状态下进行加料,无需使单晶炉充分冷却,既快速又便捷,能提高工作效率,又不会造成单晶的金属污染。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
图中的序号表示:活动套杆1、支架2、加料筒3和锥体4。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。
参照图1,该单晶炉石英加料装置它包括活动套杆1、支架2、加料筒3和锥体4,支架2横架在加料筒4上,活动套杆1位于加料筒3中且设置在支架2上,活动套杆1的下端连接有锥体4,锥体4的底面直径大于或等于加料筒3的直径。使用时,将加料筒3采用耐高温高纯石英材质制作,如果单晶炉需要加料时,可以先在加料筒3由上往下加入硅料,然后通过活动套杆1和支架2将该装置临时吊装在单晶炉中,再将锥体4向下打开,硅料会从锥体4与加料筒3之间的空隙落入单晶炉,这样,无需在单晶炉充分冷却的情况下,即可开始加料,既快速又便捷,能提高工作效率,又不会造成单晶的金属污染。
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