[实用新型]同时生产三根硅芯的硅芯炉装置

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。

二、背景技术

单根组硅芯炉是早期用于生产多晶硅用硅芯的晶体区熔设备。硅芯是在还原过程中作为CVD载体的细硅棒，由于其无污染、纯度高、损耗小、收率高等特点，使用区熔硅芯作为还原电子级多晶硅成为一种普遍的方法。但对于目前而言，单根组硅芯炉单位产量较低(只能同时生产一根)，在如今的硅芯区熔生长技术中已失去原有优势。

三、实用新型的内容

本实用新型的目的是提出一种能够同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。其能够提高其生产效率，并显著降低能耗。

本实用新型的目的是这样来实现的：一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括：线圈、籽晶转盘、籽晶轴、籽晶盘、提拉机械手、籽晶、硅棒、籽晶夹头、提拉定位槽、提拉定位销、放置定位销、设备端、内孔、中孔、水流槽、强化槽孔、放置定位槽、轨道、放置平台构成，提拉机械手与设备端以螺纹相连，籽晶轴头部悬挂并连接在提拉机械手上，提拉定位销与提拉定位槽相对应，进行定位，籽晶轴的尾端用螺母与籽晶盘相连接固定，籽晶盘与三个籽晶夹头用螺钉固定，籽晶安装在籽晶夹头上，线圈的法兰与设备端以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘的中心孔与设备端用键和螺母进行定位紧固；

所述的线圈正盘面上有斜平面，背盘面上有直角台阶，线圈盘面上有120°均布排列三个内孔和预热的中孔，均为通孔，正盘面上的孔面均为斜平面；强化槽孔与中孔相连为通孔，水流槽在线圈内部，与铜管及法兰连通，构成冷却水回路，接地端连接在线圈上，并有一通孔；

所述的籽晶转盘的中心孔与设备端轴通过键槽相连，籽晶转盘以此轴为中心进行旋转；籽晶转盘盘面上设有轨道及放置平台，背盘面上有直角台阶，放置定位槽与籽晶轴上的放置定位销相对应，轨道、放置定位槽为通孔，放置平台为凹槽；

所述的籽晶轴头端为台锥体，台锥体的侧面有提拉定位销，籽晶轴中端为圆柱体，圆柱体的侧面设有放置定位销，籽晶轴尾端为螺纹结构，通过螺母把籽晶盘固定在籽晶轴上；

所述的籽晶盘上有120°均布的三个夹头螺孔，用螺钉与籽晶夹头固定；

所述的提拉机械手中心通透，顶部有螺孔与设备端固定；底部有通孔为斜面，与籽晶轴头端的台锥体相对应，并设有提拉定位槽。

本实用新型能够提高硅芯炉运行平稳性，大幅增加生产效率，并显著降低能耗，本装置的生产规格为3根／组，3组／炉。

四、附图说明

附图1为本实用新型的结构示意图。

附图2为本实用新型线圈的结构示意图。

附图3为本实用新型线圈的仰视图。

附图4为本实用新型线圈的B--B剖视图。

附图5为本实用新型籽晶转盘的结构示意图。

附图6为本实用新型籽晶盘的结构示意图。

其中：

1---线圈、2---籽晶转盘、3---籽晶轴、4---籽晶盘、5---提拉机械手、6---籽晶、7---硅棒、8---籽晶夹头、9---提拉定位槽、10---提拉定位销、11---放置定位销、12---螺母、13---设备端、14---内孔、15---中孔、16---水流槽、17---铜管、18---法兰、19---接地端、20---强化槽孔、21---放置定位槽、22---轨道、23---放置平台、24---夹头螺孔。

五、具体实施方式

下面结合附图及实施例来对本实用新型做进一步说细描述。

参照附图，本实用新型一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括：线圈1、籽晶转盘2、籽晶轴3、籽晶盘4、提拉机械手5、籽晶6、硅棒7、籽晶夹头8、提拉定位槽9、提拉定位销10、放置定位销11、设备端13、内孔14、中孔15、水流槽16、强化槽孔20、放置定位槽21、轨道22、放置平台23构成，提拉机械手5与设备端13以螺纹相连，籽晶轴3头部悬挂并连接在提拉机械手5上，提拉定位销10与提拉定位槽9相对应，进行定位，籽晶轴3的尾端用螺母12与籽晶盘4相连接固定，籽晶盘4与三个籽晶夹头8用螺钉固定，籽晶6安装在籽晶夹头8上，线圈1的法兰18与设备端13以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘2的中心孔25与设备端13用键和螺母进行定位紧固；