[实用新型]线性蒸发源装置有效
| 申请号： | 201220628509.7 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN203007386U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 于大洋;徐剑平;丁建 | 申请（专利权）人： | 汉能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性 蒸发 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种线性蒸发源装置，包括加热层、材料腔室和线性槽，所述加热层设置于材料腔室的外部，所述线性槽设置于材料腔室的顶部并平行于材料腔室长度方向，其特征在于，所述线性槽是一体结构并具有本体和两个端部，所述材料腔室通过线性槽与腔室外部环境连通，所述端部的宽度比线性槽本体的宽度宽。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述端部比线性槽本体宽3-7毫米。
3.根据权利要求2所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述线性槽的宽度为18-22毫米，所述端部的宽度为21-29毫米。
4.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述端部的长度为80-120毫米。
5.根据权利要求1所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述端部的宽度是从线性槽本体的宽度逐渐变大的，所述端部的最大宽度比线性槽本体宽3-7毫米。
6.根据权利要求1中所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述加热层包围材料腔室，所述线性槽贯穿加热层。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述材料腔室是圆柱体。
8.根据权利要求7中所述的线性蒸发源装置，其特征在于，所述加热层包含若干个加热装置，所述加热装置是电加热装置、感应加热装置或红外加热装置中的一种。
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