[实用新型]一种基板搬送机器人手臂以及基板搬送机器人有效
| 申请号： | 201220629149.2 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN203092546U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 齐乐;曹斌;洪性坤;沈超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基板搬送 机器人 手臂 以及 | ||
【权利要求书】：
一种基板搬送机器人手臂，包括多个手爪，至少两个所述手爪上设有用于在搬送基板时固定并支撑基板的真空吸盘；其特征在于，至少一个所述手爪上设有用于与所述真空吸盘共同支撑所述基板的垫块。
根据权利要求1所述的基板搬送机器人手臂，其特征在于，所述真空吸盘在支撑基板时在垂直于所述手爪长度方向的方向上具有第一支撑高度；所述垫块在垂直于所述手爪长度方向的方向上具有第二支撑高度，且所述第二支撑高度与所述第一支撑高度相等。
根据权利要求1所述的基板搬送机器人手臂，其特征在于，每一所述手爪上设有沿所述手爪长度方向排列的多个所述垫块。
根据权利要求3所述的基板搬送机器人手臂，其特征在于，所述垫块采用可拆卸方式连接于所述手爪上。
根据权利要求3所述的基板搬送机器人手臂，其特征在于，每一所述垫块的形状、尺寸均相同。
根据权利要求1至5任一项所述的基板搬送机器人手臂，其特征在于，所述垫块为采用耐热材料制成的耐热型垫块。
一种基板搬送机器人，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的基板搬送机器人手臂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220629149.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：磁性材料抓取吸咀装置
- 下一篇：一种焊接试片存放架
