[实用新型]球键合点强度检测装置有效
| 申请号： | 201220629420.2 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN202886215U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 冯武卫 | 申请（专利权）人： | 浙江海洋学院 |
| 主分类号： | G01N3/24 | 分类号： | G01N3/24 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 王树镛 |
| 地址： | 316000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 球键合点 强度 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 球键合点强度检测装置，包括基座（1）、滑台（2）、微调螺母（3）、梯形凹槽（4）、悬臂（5）、劈刀（6）和安放盘（7），其特征是：基座（1）底部和侧部开有梯形凹槽（4），梯形凹槽（4）内安装有滑台（2），微调螺母（3）与滑台（2）相连接，底部的滑台（2）上安装有安放盘（7），侧部的滑台（2）上安装有悬臂（5），悬臂（5）顶部安装有劈刀（6）。
2.根据权利要求1所述的球键合点强度检测装置，其特征是：所述劈刀（6）为钻石材料。
3.根据权利要求1所述的球键合点强度检测装置，其特征是：所述微调螺母（3）的精度为1个微米。
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