[实用新型]一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 201220633393.6 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN202930353U | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 陈永;刘胜新;赵益弘 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 郑州天阳专利事务所(普通合伙) 41113 | 代理人： | 童冠章 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 不同 厚度 样品 平面 测试 扫描电镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，包括台体、样品台体和螺杆，其特征在于，台体（3）上有若干均布的竖向腔体（2），样品台体（1）经其下部的螺杆（4）装在腔体（2）内。
2.根据权利要求1所述的不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，其特征在于，所述的腔体（2）为圆形的通孔，由上部的第一腔体（2a）和下部中心相连的第二腔体（2b）构成，第一腔体（2a）的直径大于第二腔体（2b），第二腔体（2b）周壁上有螺纹，螺杆（4）旋装在第二腔体内，构成样品台体的上、下调节结构。
3.根据权利要求1所述的不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，其特征在于，所述的螺杆（4）下端部有一字槽（5）。
4.根据权利要求1所述的不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，其特征在于，所述的样品台体（1）的数量与腔体（2）的数量相等。
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