[实用新型]阴极安装过渡接口

说明书

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极安装过渡接口。

背景技术

在溅射镀膜设备中，阴极是一个必不可少的关键部件。阴极被装在溅射室内，溅射室内是真空环境。阴极与溅射室之间的连接，有一个叫做“阴极波纹管接口”的部件，阴极通过该部件与溅射室连在一起。如果简单地在溅射室门板上开一个小孔，直接将波纹管接口装在该小孔上，由于小孔过小，人手无法伸进去，操作起来很不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种阴极安装过渡接口，它主要解决现有技术中溅射室门板上开一个小孔，直接将波纹管接口装在该小孔上，由于小孔过小，人手无法伸进去，操作起来很不方便的技术问题，操作简单、方便。

为实现上述目的，本实用新型是这样实现的。

一种阴极安装过渡接口，它包括一端连接在阴极的阴极波纹管接口；其特征在于：在溅射室门板上开一个过渡孔，该阴极波纹管接口的另一端穿过过渡孔连接到一过渡板上，该过渡板再通过固定元件连接到溅射室门板上并覆盖过渡孔。

所述的阴极安装过渡接口，其特征在于：该溅射室的前后门板均开设有过渡孔并配有过渡板。

本实用新型的技术效果是：由于在溅射室门板上开一个较大的过渡孔，并有一个过渡板可以安装在该孔上，使阴极波纹管接口可先安装在过渡板上。且由于门板上的开孔较大，方便人手操作，该结构便于阴极波纹管接口的安装。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本实用新型公开了一种阴极安装过渡接口。如图所示：它包括一端连接在阴极1的阴极波纹管接口2。其特点是：在溅射室门板3上开一个过渡孔31，该阴极波纹管接口2的另一端穿过过渡孔31连接到一过渡板4上，该过渡板4再通过固定元件连接到溅射室门板3上并覆盖过渡孔31。

本实用新型中，可采用304不锈钢板作为过渡板，在溅射室前后门板上开较大的过渡孔，过渡孔的大小应确保人手能伸进去操作。

安装时，人手通过溅射室门板3上的过渡孔31将阴极波纹管接口2拉过来，预先装在过渡板4上，然后再将过渡板4装在溅射室的上溅射室门板3上并覆盖过渡孔31，这样安装起来很方便。

作为一种优选方式，该溅射室的前后门板均开设有过渡孔31。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。