[实用新型]金属层线宽测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及测量设备技术领域，尤其涉及一种金属层线宽测量装置。

背景技术

在TFT-LCD制造业中，CD设备是基本的监控线宽（CriticalDimension，CD）的测量设备。由于CD设备是通过对灰度图像中光的强弱变化来判定基板中不同膜层的边界的，通过CD设备在对金属层线宽（Final Inspection CD，FICD）进行测量时，测量结果会受到灯光强弱影响，而且这种光学CD结果与实际值相差较大，影响测量结果的准确性。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种结构简单、测量准确性高的金属层线宽测量装置。

（二）技术方案

为解决上述问题，本实用新型提供了一种金属层线宽测量装置，包括：

光发射装置，包括发射检测光信号的发光单元；

光接收装置，与所述光发射装置相对设置，接收所述光发射装置发出的光信号并生成光强信号；所述光发射装置和光接收装置分别位于被测基板两侧；

信号处理装置，与所述光接收装置连接，对所述光接收装置接收的光强信号进行处理，得到测量结果。

优选地，所述光发射装置进一步包括接收被被测基板反射的光信号并生成光强信号的受光单元。

优选地，所述信号处理装置还与所述受光单元连接，分别对所述光接收装置和受光单元生成的光强信号进行处理，得到测量结果。

优选地，进一步包括与所述光发射装置和光接收装置固定、沿被测基板的金属层线宽方向相对于所述被测基板移动的扫描移动装置。

优选地，进一步包括供所述被测基板固定、沿被测基板的金属层线宽方向相对于所述光发射装置和光接收装置移动的扫描移动装置。

优选地，进一步包括向所述扫描移动装置发送移动控制信号的移动控制装置。

优选地，所述移动控制装置还与所述信号处理装置连接，向所述信号处理装置发送移动参数信号，所述信号处理装置根据所述移动参数信号对所述光强信号进行处理，得到所述测量结果。

（三）有益效果

本实用新型的测量装置可以消除照射灯光对测量结果的影响，避免由于灯光变化或维护后对设备测量结果造成偏差；

本实用新型的测量装置得到的测量结果不受金属层折射光影响，与实际结果偏差较小；

本实用新型的测量装置的信号数据处理相对灰度图像光强弱分析更加简单。

附图说明

图1为根据本实用新型实施例一种金属层线宽测量装置的结构示意框图；

图2为根据本实用新型实施例另一种金属层线宽测量装置的结构示意框图；

图3为根据本实用新型实施例另一种金属层线宽测量装置的测量示意图；

图4为根据本实用新型实施例另一种金属层线宽测量装置得到的两个光强信号的曲线图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明如下。

如图1所示，本实施例记载了一种金属层线宽测量装置，包括：

光发射装置110，包括发射检测光信号的发光单元；

光接收装置120，与所述光发射装置110相对设置，接收所述光发射装置110发出的光信号并生成光强信号；所述光发射装置110和光接收装置120分别位于被测基板130两侧；

信号处理装置140，与所述光接收装置120连接，对所述光接收装置120发送的光强信号进行处理，得到测量结果。

在被测基板130经过所述光发射装置110和光接收装置120之间的部分：

为不含有金属层的透明层时，所述光发射装置110发射的光信号能被光接收装置120接收到；

含有金属层时，所述光发射装置110发射的光信号不能被光接收装置120接收到；

所述信号处理装置140根据所述光接收装置120发送的光强信号即可判断被测基板130的该部分是否包含金属层，进而得到整个金属层的线宽。

其结构简单、测量结果准确可靠并且对信号的处理也比较容易。

如图2所示为本实用新型另一个实施例记载的金属层线宽测量装置。在本实施例中除了图1所示实施例记载的光发射装置210、光接收装置220以及信号处理装置230外，所述测量装置还包括：

属于光发射装置210、接收被测基板240反射的光信号并生成对应光强信号的受光单元212；