[实用新型]一种用于单晶炉的四通式抽气管道有效
| 申请号： | 201220642269.6 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN203007501U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 任丙彦;边志坚;马辉东;杜彦玲;李润飞;李永哲;高琴伟;贾存龙 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 石家庄汇科专利商标事务所 13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 通式 管道 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于单晶炉的四通式抽气管道，包括管道主体，其特征在于：抽气管道的出气口与一个十字型的四通接头的一个接口进行连接，四通接头的与抽气管道的出气口呈90°分布的其中一个接口为出气接口，四通接头的其余两个接口均为清扫口，两个清扫口上分别设置有密封扣合装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的四通式抽气管道，其特征在于：所述的密封扣合装置包括清扫口法兰、盖板、合页和密封圈，清扫口法兰配装在清扫口上，清扫口法兰的端口部覆盖有盖板，合页的一个页板固定在清扫口法兰上，合页的另一个页板固定在盖板的外缘上；密封圈设置在盖板与清扫口法兰的口部之间。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的四通式抽气管道，其特征在于：盖板与水平面之间为30°至75°夹角，清扫口法兰的端口部的角度与盖板的角度相配。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的四通式抽气管道，其特征在于：抽气管道为双层密封结构，夹层内有循环冷却水。
5.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的四通式抽气管道，其特征在于：盖板与水平面之间为60°夹角。
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