[实用新型]一种激光相干衍射显微成像装置有效

专利信息
申请号: 201220645458.9 申请日: 2012-11-30
公开(公告)号: CN202956532U 公开(公告)日: 2013-05-29
发明(设计)人: 江怀东;张剑;刘宏;范家东 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G02B21/36 分类号: G02B21/36;G02B21/00;G01N21/45
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 李健康
地址: 250061 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 相干 衍射 显微 成像 装置
【权利要求书】:

1.一种激光相干衍射显微成像装置,其特征在于:所述装置沿光束前进方向依次共轴排列有激光器(1)、衰减片(2)、第一透镜(3)、第一光阑(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、样品台(7)及固定其的旋转支架、挡板(8)和CCD图像传感器(9),以及能实现CCD图像传感器左右、上下、前后移动的步进架,和连接CCD图像传感器的计算机(10);其中所述衰减片、第一透镜、第一光阑、第二透镜、第二光阑固定在光具座上,所述挡板固定在CCD图像传感器上,CCD图像传感器固定放置在两个相互垂直的能左右、上下移动的步进架上,然后再固定在能沿光路方向前后移动的步进架上。

2.如权利要求1所述的激光相干衍射显微成像装置,其特征在于:所述衰减片衰减倍数为10倍~1000倍;所述第一透镜和第二透镜的焦距分别为50mm~3000mm,两个透镜的焦点重合,两透镜按焦距的比例压缩光束,第一光阑和第二光阑分别放在第一透镜和第二透镜的焦点上用于消除光路的杂散光;所述样品台放在激光的腰斑处,样品台的旋转支架旋转角度范围是0度~180度;所述挡板为正方型,边长1mm~3mm,设置于激光直射CCD图像传感器的路径上用于挡住直射到CCD上的激光;所述CCD图像传感器收集的衍射信号传输到计算机。

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