[实用新型]旋转式真空镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃工件的连续镀膜技术领域，特别涉及一种旋转式真空镀膜装置。

背景技术

目前用于玻璃镀膜，尤其是针对汽车后视镜玻璃的镀膜，其镀膜生产线一般为直线形，即由进片预抽室、进片缓冲室、多个镀膜室、出片缓冲室和出片预抽室依次排列组成的直线设备，进片预抽室的进口端设置进片台，出片预抽室的出口端设置出片台。该结构形式的生产线结构较大、占地面积也相当大、能耗也较高。另外，该结构的生产线中，进片台与进片预抽室之间、出片台与出片预抽室之间进行装卸片时，均通过人工操作完成，不能实现连续的自动化作业，其工作效率较低，玻璃工件也容易被污染。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种旋转式真空镀膜装置，该装置将多个镀膜室设为旋转式，可较好的简化生产线的结构，减小设备的占地面积，降低生产成本。

本实用新型的技术方案为：一种旋转式真空镀膜装置，包括多个呈圆周分布的真空室，各真空室组成的圆环中部设置高真空抽气隔离室，各真空室和高真空抽气隔离室的底部相通并设有转盘，转盘底部设有转盘旋转机构。

所述多个真空室包括依次连接的预抽真空室、第一隔离室、镀膜前高真空抽气室、第二隔离室、溅射镀膜室、第三隔离室、镀膜后高真空抽气室和第四隔离室；预抽真空室、第一隔离室、镀膜前高真空抽气室、第二隔离室、溅射镀膜室、第三隔离室、镀膜后高真空抽气室和第四隔离室呈圆形分布排列于高真空抽气隔离室的外周。

所述预抽真空室上方通过装卸片机构与工件输送带连接。

所述装卸片机构包括旋转轴、旋转轴旋转气缸、旋转臂、吸盘升降气缸和吸盘组件，旋转轴竖直设置，旋转轴旋转气缸设于旋转轴底部，旋转臂水平设于旋转轴顶部，旋转臂两端分别设置吸盘升降气缸，各吸盘升降气缸的输出端分别与吸盘组件连接；

吸盘组件包括工件转换盖板和真空吸盘，工件转换盖板固定于吸盘升降气缸的输出端，工件转换盖板上开有通孔，通孔处安装真空吸盘；

位于旋转臂一端的吸盘组件设于工件输送带上方，位于旋转臂另一端的吸盘组件设于预抽真空室上方。

装卸片机构使用时，其原理是：工件输送带设于真空镀膜装置一侧，工件输送带的装卸工位与真空镀膜装置的预抽真空室之间设置装卸片机构；使用时，待镀膜工件进入装卸工位，已镀膜工件进入预抽真空室，旋转臂两端的吸盘升降气缸控制工件转换盖板下压，分别带动真空吸盘下压吸住待镀膜工件和已镀膜工件；然后旋转臂两端的吸盘升降气缸控制工件转换盖板上升，带动工件上升；旋转轴旋转气缸控制旋转轴旋转，带动旋转臂转动180°，使待镀膜工件和已镀膜工件换位，待镀膜工件进入预抽真空室，已镀膜工件进入装卸工位；待镀膜工件进入预抽真空室后，通过真空镀膜装置的旋转机构进行各个镀膜工艺，已镀膜工件进入装卸工位后，通过工件输送带的输送，将其送出。其中，工件输送带上设有多个工位，工件输送带的中部为装卸工位，按照工件的输送方向，装卸工位的后方为多个工件输入工位，装卸工位的前方为多个工件输出工位。

所述转盘上与各个真空室的相应处设有工件托盘，各个工件托盘底部分别设有托盘升降机构。

所述托盘升降机构包括托盘升降气缸，托盘升降气缸固定于真空室底部，托盘升降气缸的输出端穿过转盘并与托盘底部固定连接。

所述转盘旋转机构包括相连接的转盘旋转电机和转盘旋转减速器，转盘旋转电机的输出端与转盘旋转减速器连接，转盘旋转减速器的输出端与转盘中心连接。