[实用新型]一种直拉单晶炉热场系统用的导流筒

说明书

技术领域

本实用新型涉及石墨固化毡技术领域，尤其是指一种直拉单晶炉热场系统用的导流筒。

背景技术

晶体热场系统是直拉硅单晶生长设备的核心，热场的优劣对单晶硅的质量有很大的影响，合适的热场参够生长出高质量的单晶，不好的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶，有的热场虽然能够生长单晶，但质量较差，有位错和其它结构缺陷，因此，找到好的热场条件，配置最佳的热场系统，是非常重要的直拉单晶工艺技术。

目前国内的单晶炉热场所用保温材料基本上都是采用石墨桶和石墨化高纯软炭毡的组合体。目前国内已有部分厂家开始对固化炭毡进行研发，但尚无一家生产出优质优价的合格产品，也没有一家形成工业化生产。从国际上看，目前只有日本、德国、美国等少数发达国家的数家企业能够生产合格的固化炭毡，但其均采用“气象沉积法”，采用该方法技术复杂，加工周期长，成本高等缺点，其产品售价高达每公斤3000元人民币左右。我国目前所能生产的聚丙烯腈基炭纤维毡体厚度只能达到12mm，使用大于该厚度的保温材料，则需依靠炭材料的连接技术方能实现。而且聚丙烯腈基炭纤维材料本身的抗老化功能不强，性能丢失较快。也有一些企业能生产定型炭纤维保温体工件，但是生产的工件尺寸质量不稳定，加工精度不高，外观粗糙。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种低挥发性、无污染、使用寿命长、成本低、热导系数小、隔热效果好、升降温速度快的用于直拉单晶炉热场系统的保温罩。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案为：一种直拉单晶炉热场系统用的导流筒，所述的导流筒由炭纤维材料固化成型，固化后的导流筒为圆锥形，导流筒上端设有阶梯形的接合位。

所述接合位的外环直径大于内环直径。

本实用新型采用“热涂层法”技术进行生产，选用高性能粘接剂，直接复合毡体，在进行低温固化、高温炭化成型，精加工后涂层耐高温涂料，再进行纯化即可。本方案具有低挥发性、无污染、使用寿命长、成本低、热导系数小、隔热效果好、升降温速度快，热惯性小等优点。性能相对于同类产品更优越，经久耐用，使用寿命更长，这实际上就是有效利用资源的具体表现。由于聚丙烯晴碳纤维固化炭毡保温效果好可为生产单晶和铸锭多晶的企业节省大量的电力能源，同时可提高工作效率等，有利于经济社会的可持续、协调发展。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合所有附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的较佳实施例为：参见附图1，本实施例所述导流筒由炭纤维材料固化成型，固化后的导流筒为圆锥形，导流筒上端设有阶梯形的接合位，该接合位的外环直径大于内环直径。导流筒1由石墨毡通过裁剪—粘接—压制—高温固化—机械加工—涂层—高温固化—高温纯化—修饰一体制作成型。本结构选用高性能粘接剂，直接复合毡体，再进行低温固化、高温炭化成型，精加工后涂层耐高温涂料，再进行纯化即可。本方案的底座具有低挥发性、无污染、使用寿命长、成本低、热导系数小、隔热效果好、升降温速度快，热惯性小等优点。

以上所述之实施例只为本实用新型之较佳实施例，并非以此限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型之形状、原理所作的变化，均应涵盖在本实用新型的保护范围内。